Основная Информация.
Модель №.
BTF-1200C-PECVD
Heating Zone Length
440mm
Constant Zone Length
150mm
Standard Range Capacity
100 ,200,500sccm
Inlet and Outlet Connection Port
Kf25
Heating Element
Resistance Wire
Происхождение
Hefei City, Anhui Province, China
Описание Товара
Основные функции:
- PECVD, телевизор с плазменным экраном, запальные свечи выполнения. В выполнения плазмы, плотности электронов 109-1012см3 и температура газа электронов в 10-100 раз выше по сравнению с обычными молекула газа, в результате чего в химической реакции газообразные вещества с тонкой пленкой. Таким образом, новый метод подготовки для роста тонкопленочных материалов. В химически активных газов, реакция особенностями равновесия плазмы и эффективного использования энергии в режиме питания от системы реагирования является кардинальным образом изменилась. Низкая температура плазмы химического осаждения паров метод имеет все преимущества газовой фазы метод, и такой процесс является простым.
Установите блок разрежения, системы подачи газа, РЧ-источник, автоматическая рычаг хода, система отопления в печи на. Все элементы управления встроены в интерфейс управления с сенсорным экраном, чтобы сделать устройство более интеллектуальный и удобный в эксплуатации.
Главный параметр:
Печи
Максимальная температура | 1200 °C |
Длина зоны нагрева | 440мм |
Постоянной длины зоны | 200мм |
Температуры | PID автоматическое управление с помощью 30 шагов программируемых, работу интерфейса 7 "промышленные системы управления компьютером |
Размер трубы | Ø 25, Ø50, Ø60, Ø80, Ø100 (опционально). |
PE источник:
Частота сигнала | 13, 56 Мгц±0, 005% |
Диапазон мощности | 0-500W |
Макс. Мощность отражения | 100W |
Радиочастотный интерфейс вывода | 50 Ω, N-типа, |
Источник стабильности | ≤5 Вт |
Система питания газом | Для точной регулировки расхода газа с высокой точностью масса датчика массового расхода воздуха |
Масса диапазон опорного напряжения датчика массового расхода воздуха(N2) | 100SCCM, 200sccm 500sccm (опционально) |
Точность | ±1, 5% |
Повторяемость precision | ±0, 2% |
Рабочая разность давления выше допустимых пределов | 0.1~0 5 Мпа |
Макс. Давление | 3Мпа |
Блок разрежения | KF25 серии сильфоны и упор вручную клапаны |
Вакуум | 10-1 Па |
Значение может быть отображена на интуитивном уровне на цифровом дисплее тестер вакуумного насоса |
Адрес:
No. 110, Science Avenue, High-Tech Zone, Hefei, Anhui, China
Тип Бизнеса:
Производитель/Завод, Торговая Компания
Диапазон Бизнеса:
Металлургия, Минерал и Энергия, Производительный и Обрабатывающий Механизм, Химическая Промышленность, Электричество и Электроника
Сертификация Системы Менеджмента:
ISO 9001, ISO 9000
Введение Компании:
Похожие отели BEQ оборудования Корпорация технологий основное внимание уделяется производству видов материала prepsration оборудования. В качестве требования клиентов, мы объединим исследований и производства. В рамках работы всех работников BEQ, мы стать профессиональным оборудованием поставщика в этой специальной области. Мы целый ряд экспертов материалов на местах.
Наш главный продукт трубы печи, muffle печей, нажимает кнопку, смесители, сухие камеры, перчаточные ящики и другие продукты. Theyare используется в новых энергетических материалов, металлических материалов, магнитные материалы полупроводниковых материалов, керамических материалов и установок электрохимической, thinfilms, CVD, PECVD, graphene, кремний, углеродные нанотрубки нанопровода, Сапфир (светодиоды), оптических материалов, стоматологических и других областях исследований.
С помощью специальной конструкции, наши продукты имеют то преимущество, уникальный дизайн, внимание к деталям, надежных и своевременных послепродажного обслуживания.
Он является для нас для обеспечения наиболее уместных и эффективных профессиональных программ решения для материалов исследований.
Для обеспечения полного набора решений является работник BEQ достижения!