Основная Информация.
Индивидуальные
Индивидуальные
заявка
Школа, Hospital, Лаборатория
Max Temperature
1200c(1 Hour)
Tube Size
O.D50/60/80/100*1000(Optional)
Heating Zone Length
200+200mm
Constant Zone Length
100+100mm
Limited Pressure
1.0X10-1PA
Standard Range Capacity
100 ,200,500sccm
Inlet and Outlet Connection Port
Kf25
Происхождение
Hefei City, Anhui Province, China
Описание Товара
Эта Система PECVD скольжения - это модульное комбинированных сборочное оборудование. Состоит из ручного теплового скольжения области (в нескольких регионах температуры температурного поля, дополнительная длина отопления, ) Вакуумного блока, Системы подачи газа, ВЧ мощность питания системы возбуждения с плазменным экраном и т. Д. Каждый модуль можно перемещать независимо друг от друга.
В целом экспериментальные полость в регионе нового поколения, единообразных эквивалент Горят, эта технология - это хорошее решение для традиционных плазменных работу нестабильности, в этом диапазоне и интенсивности ионизации в 100 раз этой традиционной PECVD, Неравномерного накопления материалов.
Трубы печи Два независимых полей температуры скольжения. Она может содействовать или нажмите на сторону образцов в ходе эксперимента, обеспечивающий две позиции быстрого роста и охлаждения |
Мощность (КВТ): 2 Напряжение(V): AC220v 50/60 Гц Max. Теа. (C): 1200 Рабочая ТЕА. (C): 1100 Система отопления собственный(C/мин): ≤50 Кварц tubeΦ50×1200 мм Зона нагрева (мм): 230+230мм Постоянная зона (мм): 80+80мм Теа. Contrl: PID автоматическое управление с помощью твердотельного реле с 30 шагов программируемый · Построен в превышение температуры и защита от отказа термопары Теа. Точность(C): ±1 Реле погружных подогревателей: Doped Fe-Cr-аль-сплава по объекту |
Система питания газом |
Вес: 35 кг Общий размер: 600x600x650мм Connnetor: Двойной крышкой фитинг из нержавеющей стали. Стандартный Диапазон датчика массового расхода воздуха Способность (N2): 100SCCM, 200sccm (индивидуально) Погрешность: ±1, 5% Передний подкрылок: ±0.5~1.5% Повторите точность: ±0, 2% Время ответа: Свойства газа: 1~4 Сек, электрические свойства: 10 Сек Рабочий диапазон давления: 0.1~0 5 Мпа Макс. Давление: 3Мпа Интерфейс: Φ6, 1/4'' Дисплей: 4 цифры Рабочая ТЕА.: 5~45C Полированный СС трубы: Φ6 Диапазон измерений : -0.1~015 Мпа, 0, 01 МПА/grid ValveΦ6 |
Низкий вакуум блока управления |
Относительная Влажность воздуха: ≤85%, Напряжение: 220V±10% 50~60ГЦ Питание: 1Квт Качать собственный: 4L\s Ограниченные вакуума: 4x10-2PA Уровень вакуума: 1.0X10-1PA Масла 1.1L Capacty: Газа на входе: KF25 Выход газа: KF25 Поверните: 1450 об/мин Уровень шума: 50 Дб Общий размер: 600×600×600 мм |
Радиочастотный блок питания |
Частота сигнала: 13.56Мгц±-0.005 % Выходная мощность: 5 Вт-500W Max. Отражением питание: 200W Рч-порт вывода: 50Ом. N-типа, женщин Источник стабильности: ±0, 1% Компонент с кодированием гармоник: От -50 до≤dbc Напряжение питания: Одна фаза50/60Гц 220v±10% Общая эффективность: > =70% Питание facor: > =90% Охлаждение: Охлаждающего воздуха |
Адрес:
No. 110, Science Avenue, High-Tech Zone, Hefei, Anhui, China
Тип Бизнеса:
Производитель/Завод, Торговая Компания
Диапазон Бизнеса:
Металлургия, Минерал и Энергия, Производительный и Обрабатывающий Механизм, Химическая Промышленность, Электричество и Электроника
Сертификация Системы Менеджмента:
ISO 9001, ISO 9000
Введение Компании:
Похожие отели BEQ оборудования Корпорация технологий основное внимание уделяется производству видов материала prepsration оборудования. В качестве требования клиентов, мы объединим исследований и производства. В рамках работы всех работников BEQ, мы стать профессиональным оборудованием поставщика в этой специальной области. Мы целый ряд экспертов материалов на местах.
Наш главный продукт трубы печи, muffle печей, нажимает кнопку, смесители, сухие камеры, перчаточные ящики и другие продукты. Theyare используется в новых энергетических материалов, металлических материалов, магнитные материалы полупроводниковых материалов, керамических материалов и установок электрохимической, thinfilms, CVD, PECVD, graphene, кремний, углеродные нанотрубки нанопровода, Сапфир (светодиоды), оптических материалов, стоматологических и других областях исследований.
С помощью специальной конструкции, наши продукты имеют то преимущество, уникальный дизайн, внимание к деталям, надежных и своевременных послепродажного обслуживания.
Он является для нас для обеспечения наиболее уместных и эффективных профессиональных программ решения для материалов исследований.
Для обеспечения полного набора решений является работник BEQ достижения!