Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Оборудование для прямого осаждения паров плазмы с горячим катодом (DCCVD) разработано на основе обычного холодного разряда накала катода, и в основном используется для осаждения и роста алмазного одиночного кристалла или поликристаллической пленки.
Запальные выделения оборудования для прямого осаждения паров плазмы с горячим катодом можно разделить на четыре области вдоль оси катода к аноду: Слой накала катода, темная зона Фарадея, шар плазмы с положительным запасом и слой анода. Среди них катодный светящийся слой — тонкий светоизлучающий слой, близкий к катоду, где происходит огромный волновой разряд, который играет важную роль в процессе запального разряда; тёмная зона Фарадея — зона перехода между катодной зоной и положительной колонной зоной. Электроны сталкиваются в области катода и теряют энергию, а медленных электронов недостаточно для того, чтобы вызвать ионизацию и возбуждение, поэтому они представляют темную область, которая не излучает свет; Шар светящейся плазмы в области положительной колонки находится в наиболее очевидном положении запальной разрядки, а его ширина относительно катода расстояние между анодами составляет около 4/5, а длина изменяется при изменении анода и катодного интервала; по сравнению с ярко-положительной областью колонны слой анода светится несколько темнее.
Горячие катоды, высокое давление газа и высокая плотность тока являются основными характеристиками разряда накала горячего катода, которые отличаются от обычного разряда накала холодного катода. Во время разряда между электродами имеется распределение интенсивности свечения, цвета и яркости, которые разделены на четыре очевидные области. Светящийся разряд охватывает всю поверхность катода, а выходное напряжение увеличивается с увеличением тока разряда; излучение катода электронно комбинируется тепловым излучением и процессом γ , а степень смещения между ними в основном определяется температурой катода; Зона падения катода должна поддерживать свечение незаменимой части лёгкой разрядки, толщина этой области очень тонкая, существует высокое падение потенциала, поэтому напряженность поля в этой области очень высока, и генерировать огромный волновой разряд. Плотность тока разряда накала горячего катода намного выше, чем при разрядке холодного накала катода.
|
установите камеру |
Промежуточный слой из нержавеющей стали с водяным охлаждением |
Создайте полость соответствующего размера в соответствии с размером электрода чтобы убедиться в отсутствии выброса между полостью стенка и электрод |
|
Откройте полость |
Поднимите, чтобы открыть полость или открыть дверцу перед , что удобно для сплавки и очистки |
|
|
Окно наблюдения |
Настройте несколько окон наблюдения, чтобы обеспечить наблюдение за катодом, анодом и таблицей осаждения |
|
|
Вакуумная система |
Вакуумный насос |
Вакуум закачивается механическим насосом, нет необходимости настраивать молекулярный насос |
|
Непревзойденный вакуум |
0.1–1 Па |
|
|
Время простоя насоса |
5–15 мин |
|
|
Настройка вентиляции |
Обеспечьте равномерность перекачки |
|
|
Диапазон регулировки давления воздуха |
0,1–30 кПа |
|
|
Клапан сброса давления |
Можно восстановить в атмосферу |
|
|
Вакуумметр |
Высокоточный вакуумный манометр точно измеряет давление полость |
|
|
Газораспределительная система |
Конфигурация источника воздуха |
5 источников водорода, метана, азота, аргона и кислорода, с дополнительным резервным копированием |
|
Управление потоком газа |
Объемный расход контролируется MFC, и в зависимости от размера полости выбирается расходомер с соответствующим диапазоном. На время повышения давления влияют разные размеры расхода. В целом, скорость потока водорода: Метан: Азот: Аргон: Кислород 40:1:1:40:1 |
|
|
Настройка воздухозаборника |
Приемлемый уровень входного воздуха для обеспечения однородности входного воздуха |
|
|
Система водяного охлаждения |
Питание водяного охладителя |
Мощность охлаждения и головка водяного охладителя должны соответствовать тепловыделению оборудования и потоку охлаждающей воды, а температура должна быть регулируемой, обычно установленной на 20°C. |
|
Клапан |
Камеру осаждения, катод и анод необходимо охладить, а водоотделитель необходимо установить, а ручные клапаны установлены на входе и выходе каждого патрубка на водоотделителе. |
|
|
Рабочая температура |
Рабочая температура анода составляет 600—1100 °C, рабочая температура катода составляет 700—1100 °C. |
|
|
Мощность |
Рабочее напряжение |
600–1200 в, регулируемое выходное напряжение |
|
Рабочий ток |
6–15 A. |
|
|
Система управления |
1) контроль расхода газа; 2) управление подъемом электродов, отображение расстояния между катодом и анодом в режиме реального времени, точность управления 1 мм; 3) мониторинг и отображение температуры катода, анода и субстрата; 4) некоторые функции можно регулировать вручную, например, давление воздуха; 5) сигнал неисправности для предотвращения неправильной работы; |
|
|
Электрод |
1) Диаметр анода 60 мм, а материал — медь 2) Диаметр катода составляет 80~100 мм, а материал — молибден. После длительного использования углерод легко осадился на поверхность катода и разряд нестабилен. Поэтому его необходимо проектировать как сменную конструкцию; 3) расстояние между катодом и анодом регулируется, диапазон составляет 10–60 мм, расстояние отображается в реальном времени, а точность регулировки составляет 1 мм; 4) края катода и анода могут быть округлены для предотвращения краевой разрядки; 5) анод может быть смещен отрицательно, а диапазон напряжения смещения составляет 0–400 в; 6) край электрода изолирован для предотвращения выброса краевой воды; |
|
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональными производителями лабораторного оборудования, имеем собственную команду проектирования и завод, имеем зрелый технический опыт, и можем гарантировать качество продукции и оптимальную цену.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик 
