Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Оборудование для лабораторного анализа с одним кристаллом MPCVD для алмазного осаждения
Приложение
Подготовка высококачественного однокристального алмаза, алмазовыращенного;
Подготовка высококачественных поликристаллических безстоящих алмазных пленок;
Подготовка высококачественных поликристаллических алмазных пленок;
Подготовка различных углеродных нанопленок, таких как графен, углеродные нанотрубки, фуллерены и алмазные пленки.
Характеристики:
а. Тип камеры из нержавеющей стали, 10 квт, микроволновая плазменная установка, высокая плотность мощности;
б. Ступень основания с водяным охлаждением и металлическая камера с водяным охлаждением обеспечивают стабильно длительную работу системы;
в. Температура субстрата достигается за счет автоматического нагрева в микроволновой плазме;
д. Вакуумметр использует полнодиапазчный вакуумный манометр, который может точно измерять вакуум фона и давление рабочего газа;
д. Вакуумный насос и клапан принимают турбомолекулярный насос (максимальный вакуум 1×10-5PA) и роторно-лопастной механический вакуумный насос (максимальный вакуум 1 Па), и система может автоматически контролировать давление осаждения;
f. Система циркуляции охлаждающей воды для обеспечения долгосрочной безопасной и стабильной работы устройства под высокой мощностью;
г. 15-дюймовый сенсорный экран, автоматическое управление ПЛК, может устанавливать постоянную температуру или давление, сохранять и повторно использовать до 20 наборов файлов процессов;
H. полностью автоматический модуль управления процессом, который может стабильно и надежно подготовить высококачественные алмазные пленки и кристаллы.
Преимущества:
1) Высокая производительность, большая производительность, высокое качество, размер 7*7,8*8,10*10,12*12,15*15 может быть установлен одновременно. Она может производить около 250 ~480 каратов алмазного сырья в месяц.
2) Оборудование достигло промышленного производства. Молибденовая стадия имеет размер 90 мм, скорость роста, высокую скорость выхода и хорошую стабильность.точность и качество обрабатываемых компонентов чрезвычайно высоки, а качество обработки нашего оборудования довольно высокое.
3) в настоящее время оборудование является первым основным оборудованием дома и за рубежом, которое может обеспечить промышленное производство монокристаллического алмаза. Оснащен передовой производственной технологией, которая гарантирует клиентам производство продукции, соответствующей требованиям.четкость изображения может достигать vs,vvs. Цвет может достигать уровня D,E,F,G в соответствии с требованиями клиентов.
| EVacuum | Измерение вакуума | Пьезорезистивный манометр 0.1 кПа емкостный манометр 0 Па |
| Диапазон рабочего давления | 4 кПа | |
| Скорость утечки вакуума | <1*10-9 Па·м 3 / с. | |
| Управление давлением | Автоматическое управление | |
| Материал полости | Камера возбуждения из алюминиевого сплава, кварцевая вакуумная камера | |
| Окно наблюдения | Отверстие для измерения температуры диаметром 10 мм и смотровое окно пористого отверстия | |
| Режим охлаждения | Режим охлаждения | Охлаждение водой + охлаждение воздуха в камере |
| Размер таблицы образцов | Молибденовая ступень Φ 85 мм, однородная площадь Φ 50 мм | |
| Измерение температуры | Инфракрасный термометр, диапазон 300-1400°C. | |
| Поток охлаждающей воды | >50 л/мин | |
| Температура охлаждающей воды | 20–22°C. | |
| Интерфейс охлаждающей воды | 1-дюймовый внешний проводной интерфейс | |
| Операционная система | Операционная система | Управление ПЛК, управление 15-дюймовым сенсорным экраном |
| Меню процесса | 10 меню процесса, 25 строки для каждого | |
| Микроволновая печь и источник питания | Частота микроволн | 2.45±0,1 ГГц |
| Выходная мощность | 1.5 кВт (с внутренним источником питания для микроволновой печи мощностью 10 квт) | |
| Входная мощность | 380 AC/50 Гц, трехфазный, 5-проводной (3 * 10+2 * 6 линия питания),>15 кВт | |
| Скорость утечки в микроволновом диапазоне | Скорость утечки микроволн на расстоянии 5 см от оборудования ≤ 5 мВт/см2 | |
| Технологический газ | Расходомер и интерфейс | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "VCR Быстроразъемная заглушка трубы PU 8 мм для сжатого воздуха с внутренней резьбой |
| Расходомер может изменять тип газа, используемого через программное обеспечение | ||
| Давление подачи воздуха | 0.3–0,35 МПа | |
| Давление сжатого воздуха | 0.5–0,6 МПа | |
| Вакуумный насос | Вакуумный насос с вращающейся лопастью | Масляный насос |
| Скорость насоса | 4L/S. | |
| Источник питания | AC 380 в (±10%) | |
| Интерфейс | Отвод воздуха KF25, выпуск воздуха KF25 | |
| Условия эксплуатации | Температура и влажность окружающей среды | Температура в помещении ниже 26°C и влажность ниже 40% |
| Габаритные размеры оборудования | Размер | 1250(Д)×800(Ш)×2100(В)ММ |
| Условия приемки оборудования: | 1. Установка оборудования: После завершения установки оборудования стороны A и Сторона B должны провести ввод оборудования в эксплуатацию на месте, а технические специалисты стороны B должны провести обучение эксплуатации оборудования, технике безопасности и техническому обслуживанию для лица, которое отвечает за сторону A. | |
| 2. Проверка системы: Система может быть запущена и работать нормально, а отсоединенный огненный шар устойчив без прыжка. | ||
| 3. Утечка в микроволновую печь: Утечка в микроволновой печи составляет менее 5 мВт/см2 (выходная мощность источника СВЧ составляет более 80%, на расстоянии 10 см от оборудования) | ||
| Пункт | модель | Количество (комплект / деталь) |
производитель или источник | примечание |
микроволновый источник |
10 кВт / 2450 МГц |
1 |
внутренние |
|
| микроволновая система передачи | Смеситель MPT-2012волновод |
1 | внутренние | |
| преобразователь режима | MPM-2050 | 1 | внутренние | |
| микроволновая реакционная полость | Нисходящий поток MPP-2050 |
1 | внутренние | |
| стол для проб и система кронштейнов | Н/Д |
1 |
внутренние |
Водяное охлаждение, подъем одного слоя |
система расхода газа |
5 контроллер массового расхода газа: H2, CH4, O2, N2, AR |
5 |
Японии |
|
| газовый вакуумный клапан и фильтр | 1 комплект | Японии | ||
| Компоненты соединения газовой системы | 1 комплект | Японии | ||
| вакуумная система | вакуумный клапан и фильтр | 1 | Японии | |
| вакуумная камера, вакуумная трубка | 1 | внутренние | ||
| механический насос и вакуумный клапан | 1 | внутренние | ||
| молекулярный насос и опорный вакуумный клапан | внутренние |
|||
измерение |
вакуумный измеритель сопротивления | 1 | внутренние | |
| пленочный вакуумный дозатор | 1 | внутренние | ||
| инфракрасный термометр | 1 | внутренние | ||
| электрическая система управления | ПЛК | 1 | Германия | |
| сенсорный экран | 1 | внутренние | ||
| система водяного охлаждения | температура охлаждающей воды, контроль расхода |
3 |
Японии |
|
| Блок управления / шкаф | 1 | внутренние | ||
| стабилизирующее напряжение питание | Требуется пользовательская настройка | |||
| охладитель циркуляции | Требуется пользовательская настройка | |||
| газовый баллон, трубопровод из нержавеющей стали, трубопровод для воды, распределение питания, выхлопная труба |
Требуется установка пользователем |
Фотографии оборудования:
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик 
