Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Система PECVD для осаждения химических паров 1000C с газовым расходомером 6
Плазменно-усиленная химическая паровая осаждение (PECVD) — это тип химического осаждения паров, характеризующийся использованием плазменной активации при низких температурах для усиления реакции химического осаждения паров. Преимущества этого метода заключаются в том, что температура осаждения низкая, скорость осаждения высокая, а производимый плёнкой материал обладает превосходными электрическими свойствами, хорошей адгезией субстрата и отличным покрытием шага.
Технические характеристики системы PECVD
| Номер модели | TN-PECVD-200SST | ||
| Размер полости | Phi 500 — | ||
| Длина зоны нагрева | 200 | ||
| Источник питания РЧ | 500 Вт (1000 Вт поставляется дополнительно) | ||
| Температура | 1000°C. | ||
| Насос для предотвращения | Комплект молекулярных насосов | ||
| Тип дисплея | Тип T. | ||
| Зона нагрева | Одна зона | ||
| Водоохладитель | CW5200 | ||
| Материал полости | С. | ||
| Нагрев пробы температура |
Выше RT-1000°C, точность регулирования температуры: ±1.C , с использованием измерителя температуры для регулирования температуры; Регулируемая скорость: 1 об/мин |
||
| Размер распылительной головки | Φ90mm, расстояние между распыляемой головкой и образцом 40-100 мм , можно регулировать в режиме онлайн (в зависимости от процесса), а также с помощью дисплея указателя линейки | ||
| Таблица образцов | диаметр 200 мм | ||
| Рабочий вакуум для осаждения | 0.133 Па (регулируется в соответствии с процессом) | ||
| Верхний фланец | Его можно поднять с помощью мотора, носитель легко менять, а также имеется визуальный порт | ||
| Таблица подложки | Линейное и азимутальное движение стола подложки, нагрев подложки и контроль температуры, управление монтажным столом и сенсорным экраном, линейное движение подложки контролируется вручную, а вращение подложки контролируется двигателями постоянного тока | ||
| Вакуумная камера | Тип открывания передней двери, φ500mm X 500 мм, нержавеющая сталь | ||
| Окно наблюдения | φ100mm с перегородкой | ||
| Массовый расходомер | Шестиходовой расходомер массы | ||
| Количество каналов газа | Шесть путей | ||
| Диапазон давления | От 0.15 МПа до 0.15 МПа | ||
| Диапазон | От 0 до 100 SCCM (кислород) От 0 до 100 SCCM (CF4) От 0 до 200 SCCM (SF6) От 0 до 200 SCCM (аргон) От 0 до 500 SCCM (воздух других газов) 0-500 SCCM (другие газы, азот) |
||
| Диапазон регулирования расхода | Плюс или минус 1.5% | ||
| Материал газового тракта | 304 нержавеющая сталь | ||
| Трубное соединение | соединение втулки 6,35 мм | ||
| Вакуумная система | Передний насос: Безмасляный вакуумный насос 4,7 л/с. Молекулярный насос: 1200 л/с. |
||
| Диапазон измерения | 1 x 10-5 - 1 x 105 Па | ||
| Точность измерения | 1 x 10-5 ~ 1 x 10-4Па ±40% показания 1 x 10-4 ~ 1 x 105 Па для показаний ±20% |
||
1. У НАС есть машина CVD/PECVD с системой подачи газа+вакуумной системой+трубная печь + плазменный генератор.
2. Трубная печь (температура): 1200C, 1400C, 1600C, доступна индивидуальная температура.
3. Трубная печь (зона нагрева): Однозонная, двухзонная, трехзонная, настраиваемое количество зон нагрева .
4. Материал трубки: Кварц, корунд, сплав и другой материал трубки можно настраивать.
5. Трубка с различным диаметром и длиной может быть индивидуально настраиваемой.
6. Плазменный генератор: 100 Вт, 150 Вт, 300 Вт, 500 Вт, 1000 Вт, а также другие возможности плазменного генератора можно настраивать.
7. Расходомер: 1~3 или многоканальный расходомер является дополнительным оборудованием в зависимости от вашего процесса.
Другие машины:
Мы можем отправлять машины CVD, PECVD по морю, воздуху, по суше и экспресс, а также можем организовать доставку в соответствии с вашими требованиями.
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
ОБСУДИМ ЛИ МЫ ВАШ ПРОЕКТ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать, чтобы получить ответы и решения, которые вам необходимы.
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик 
