Машина для очистки плазмы с азотом аргона

• After-sales Service: Engineer Online or at Site
• Warranty: 12 Months
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, ISO
• Material: Steel
• Модель №.: VPC42
• Max Speed: 0
• мощность: 380 в перем. тока 20 а.
• азот: 0,5 мили/ч.
• слои: 5
• одна зона очистки: 350 *350 мм
• 15 мм слои: 0 кхz 2 квт средняя частота
• датчик температуры: омега сша
• газ: сжатый воздух, cda, 0,5 mpa
• 50 мм: 13,56 гц, 300 вт радиочастоты
• размер: 85*170*96 см.
• Транспортная Упаковка: Polywood Case
• Торговая Марка: Torch
• Происхождение: Beijing
• Производственная Мощность: 50sets/Month

Описание Товара

Вакуумная плазменная обработка Очистка микроэлектрологического полупроводника

I. Название оборудования, номер типа, происхождение и дата поставки
1.1 Название оборудования: Машина для очистки вакуумной плазмы
1.2 номер модели : VPC42
1.3 год Страна происхождения (страна, производитель): Beijing Torch SMT Incorporated Company
1.4 Дата поставки: Через 4-8 недели после вступления в силу договора
1.5 используется в основном для обработки поверхности плазмы в полупроводниковых полках, таких как кремниевые пластины, стеклянная подложка, керамическая подложка, несущая пластина IC, медная свинцовая рамка, Крупноформатная односторонняя плата питания подложки, модуль IGBT, датчик MEMS с креплением, микроволновое устройство, фильтр, РЧ-устройство и т.д.
II  Основные технические параметры:
2.1 объем вакуумной камеры: 42 л.
2.2 градусов вакуума:
Максимальная степень вакуума пылесоса VPC42 составляет Менее 2 Па (механический сухой насос 40 л/мин)
2.3 эффективное место очистки:
Одна зона очистки: 350 *350 мм
15 слоя: 15-мм интервал: 40 КГЦ 2 кВт промежуточная частота (обработка поверхности)
5 слоя: 50-мм интервал, 13,56 Гц, 300 Вт радиочастота (обработка звука, с водяным охлаждением)
2.4 Высота вакуумной камеры:
 Высота камеры:  350 мм (эффективный размер)
2.5 Температура очистки:
Низкотемпературная очистка (ниже комнатной температуры).
2.6 частота очистки: 30 с.
2.7 эффект очистки: Значение красновки может достигать 70. Угол падения воды составляет 15 градусов, и его можно оптимально контролировать в пределах 10 градусов (в мастерской чистота воздуха при отсутствии пыли класса 100 может быть очищена в течение 4 часов)
2.8 можно использовать газ:
Аргон, азот, кислород, азотная водородная смесь, водород и тетрафторид углерода и т. д.
2.9 аппарат для очистки вакуумной плазмы VPC42 оснащен программной системой управления:
Система управления программным обеспечением проста в эксплуатации, позволяет подключать управляющее оборудование, а также задавать различные кривые процесса очистки , а кривые можно задавать, изменять, сохранять и выбирать для использования в соответствии с различными процессами; программное обеспечение имеет собственную функцию анализа, которая может анализировать кривую процесса. Система управления программным обеспечением автоматически записывает данные процесса очистки, температурную кривую, время и данные, относящиеся к тревоге, в реальном времени, чтобы обеспечить отслеживаемость процесса очистки продукта.


Информация о компании


Показать комнату