| Индивидуализация: | Доступный |
|---|---|
| Область применения: | Аэрокосмическая, Автомобильный, Электроника, Морской, Медицинские приборы, Нефть и газ, Производство электроэнергии, Железные дороги |
| Материал покрытия: | Металл |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Проверено независимым сторонним инспекционным агентством
Двухцелевые магнетронные приборы для нанесения покрытий на котеровы с ионами являются специальной лабораторной машиной для нанесения покрытий, в которой четыре цели разработаны нашей компанией. Он оснащен двумя источником питания постоянного тока и двумя радиочастотными. Может использоваться для подготовки однослойных или многослойных ферроэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, легированных пленок, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрические пленки, оптические пленки и т.д.
По сравнению с обычным плазменным напыления, магнетрон-шпутинг обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца;
Магнитронная мишень оборудована слоем с водяным охлаждением. Водоохладитель может эффективно отводить тепло и избежать накопления тепла на поверхности мишени, чтобы покрытие магнетрона могло работать стабильно в течение длительного времени;
Эта модель использует расположение под мишенью, стол для образца находится сверху, а высота с целевой поверхностью может быть точно отрегулирована программой, и может быть повернут и нагреты, с отличной производительностью.
|
Название продукта |
Двухцелевое устройство для нанесения воды на магнетрон с ионным источником |
|
|
Модель продукта |
RJ-MSH500X-II-DCRF-SS |
|
|
Вход |
220 в, 50 Гц |
|
|
Полная мощность |
6 КВТ |
|
|
Максимальная степень вакуума |
5 x 10–4 Па |
|
|
Параметры таблицы образцов |
Размер |
150 диам. |
|
Высота |
70 мм регулируется |
|
|
Обогрев |
≤850°C. |
|
|
Скорость вращения |
1-20 об/мин |
|
|
Параметры головки для напыления магнетрона |
Количество |
четыре комплекта, 2 дюйма |
|
Режим охлаждения |
С водяным охлаждением, требуемый расход 10 л/мин |
|
|
Водоохладитель |
Циркулирующее водяное охлаждение 10 л/мин |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
Диаметр 500 мм × 550 мм в |
|
Материалов |
Нержавеющая сталь |
|
|
Окно просмотра |
Диаметр 100 мм |
|
|
Режим открытия |
передняя открывающаяся дверь |
|
|
Регулятор расхода газа |
1 канал, 200 ссм AR; |
|
|
Вакуумный насос |
Насос молекулярной системы, 1200 л/с. |
|
|
Толщиномер пленки |
Кварцевая вибропленка толщиномер , Один набор, разрешение 0.10 Å |
|
|
Питание от измельчителя |
Источник питания постоянного тока: Два комплекта, 500 Вт, для металлических пленок Источник питания RF: Два комплекта, 500 Вт, для неметаллических пленок |
|
|
Режим работы |
саморазвитая профессиональная система управления |
|
|
Габаритные размеры |
1250 мм X 1000 мм X2000 мм |
|
|
Общий вес |
500 кг |
|
