Система управления постоянным давлением для оптимальной производительности

• Индивидуализация: Доступный
• Послепродажное обслуживание: онлайн-сервис
• Гарантия: онлайн-сервис
• Модель №.: Made-to-order
• Тип: Нержавеющая сталь Тепловое оборудование
• сертификация: CE
• Состав: Горизонтальный тип
• марка: rj
• источник питания: однофазный 220 в/50 гц
• потребляемая мощность: 1 квт
• вакуумный насос: drv16c насос с переменной частотой (kf25 фланец)
• высокая точность: 200-700PA
• Транспортная Упаковка: деревянный ящик
• Характеристики: индивидуальный
• Торговая Марка: rj
• Происхождение: Zhengzhou, China

Описание Товара

Система обеспечения постоянного давления (Модель: RJ-HY-DRV16)
1. Обзор системы
Усовершенствованный регулирования давления в системе с использованием переменной частоты диск (VFD) для точного контроля вакуума в тонкопленочных осаждения и материала приложений для обработки данных. Разработана для интеграции с трубы печи, компенсационных/PECVD систем и приборов для проведения анализа.
2. Основные характеристики
2.1 Точность контроля давления

• Двойной диапазон регулирования:
  • Точная настройка: 200-700Па (±1Pa) через цифровой манометр вакуумного насоса
  • Широкие: 10-50Кпа (±1%) с помощью датчика давления
• В режиме реального времени адаптивная качать регулировка частоты вращения коленчатого вала

2.2 Интеллектуальный контроль

• IoT - Enabled (WiFi/RJ45) дистанционного управления
• 30-дневная регистрация данных (8 ч/день)
• Протокол TCP/IP для интеграции SCADA
• Визуальная Тренд давления на дисплее

3. Технические характеристики

Параметр	Согласно спецификации
Источник питания	Однофазные 220В/50Гц
Потребляемая мощность	1 КВТ
Вакуумный насос	DRV16C VFD насос (KF25) с фланцем
	- Включает в себя масляный фильтр чернильного тумана
Диапазоны давления
Высокая точность	200-700Pa
Стандартный диапазон	10-50Кпа
Измерительные устройства
Цифровой манометр вакуумного насоса	PG800K (1-10,000Pa)
Датчик давления	0-100Кпа диапазон
Физические размеры	650×420×450 мм
Вес	40кг

4. Эксплуатационные характеристики
4.1 Параметры управления

Метрические	Значение
Расход ниже допустимых пределов	200-1000мл/мин (штрафа)
	6-17л/мин. (стандарт)
Время отклика	<500 мс для 10% колебаний давления
Стабильности	±0,5% от заданного значения

4.2 Интеграция системы

• Совместим с:
  • Тепловой компенсационных систем
  • Телевизор с плазменным экраном расширенного осаждения азота
  • Отличается неравномерностью систем
  • Газовых станций заслонки смешения воздушных потоков
• Стандартный KF25 фланец соединения

5. Оперативных преимуществ

1. Оптимизация процесса
   • Обеспечивает стабильное давление в течение газа изменения расхода
   • Обеспечивает повторяемость осаждения условия
   • Уменьшает дефекты пленки с колебаниями давления
2. Преимущества для пользователей
   • Интерфейс с сенсорным экраном с рецептом для хранения
   • Автоматизированный насос регулировки частоты вращения коленчатого вала
   • Удаленный мониторинг с помощью мобильных/desktop
3. Функции безопасности
   • Повышенное давление защиты
   • Насос гарантий защиты от перегрузки
   • В чрезвычайных ситуациях возможность вентиляции

6. Техническое обслуживание и поддержка

• Гарантию на 12 месяцев (материалы)
• Срок службы технической помощи
• Рекомендуемый интервал обслуживания: 2000 оперативной часов

7. Типичные области применения

• Компания National Semiconductor тонкопленочных осаждения азота
• Покрытие оптических процессов
• Вакуумный отжига систем
• Поверхность изменение терапии
• Исследований и обобщение материалов

Эта система представляет собой значительное улучшение положения в процессе контроля. Эта технология позволяет лабораторные класса точности в промышленных надежности. Затем насос архитектура позволяет снизить потребление энергии на 40 % по сравнению с обычными вакуумные системы, одновременно обеспечивая превосходное стабильность давления.
Для обеспечения оптимальной производительности рекомендуется в пару с нашими RJ-series трубы печей и газовых систем доставки для завершения процесса интеграции.