Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Режим Размер |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1300 | JTL-1600 |
Φ9001000mm | Φ11001000mm | Φ13001200 mm | Φ16001200 mm | |
Режим покрытия и главное confirguration |
3 пары electric-arc+2 плоского прямоугольного катода | 6 пар electric-arc+2 цилиндрического катода | 5 пар electric-arc+4 цилиндрического катода | 6 пар electric-arc+8 цилиндрического катода |
Типы пленки | Пленки металла, пленки Dielectric, пленки Compound, пленки Reaction, пленки функции Muti-слоя | |||
Источник питания | Электропитание электрической дуги, электропитание магнетрона DC, электропитание магнетрона MF. Источник питания источника силы supply.ion напряжения смещения ИМПа ульс | |||
Отростчатое управление газа | Счетчик- расходомер качества + клапан электромагнитизма керамический | |||
Структура камеры вакуума | Вертикально определите (бортовую) дверь, postposition насосной системы, двойное водяное охлаждение | |||
Вакуумируйте систему | Насос насоса +Mechanical насоса молекулы (насоса диффузии) +Roots (PA 8.0*10 -4) | |||
Нагнетая скорость | Нагнетая время более менее чем 15 минут, от атмосферного давления к PA 310 -3 | |||
Режим движения Workpiece | Общественная настройка по частоте вращения: 0-20 вращение в минуту | |||
Режим измерения | Датчик вакуума индикации номера составной: от атмосферы к PA 1.0*10 -5 | |||
Режим управления | Полная система управления PC+PLC/PC+HMI автоматизации | |||
Примечание | Мы можем конструировать размер оборудования согласно требованию к метода клиентов специальному |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями