Мини-Pecvd Laboraotry печи с компактным трубы печи, ВЧ генератора и газового смесителя Cy-O-Pecvd1200-50является

• заявка: лаборатория
• Индивидуальные: Индивидуальные
• сертификация: CE, tuv
• Состав: портативный
• материал: Стали
• Тип: Трубчатые печи
• Модель №.: CY-O1200-50IS-PECVD
• Транспортная Упаковка: Ply Wooden Carton
• Торговая Марка: CYKY
• Происхождение: Zhengzhou, China
• Код ТН ВЭД: 85143090
• Производственная Мощность: 20 Sets/Month

Описание Товара

 CY-O-1200-50PECVD является сертифицированным инженером по одной зоны splittable трубы печи с кварцевой трубки диаметром 60 мм, механические узлы и агрегаты вакуумного насоса и четыре канала газа и 13.56Мгц генератор.Он может достичь максимального разрежения до 10-2 Торр и смешайте 1-4 видов газов для компенсационных или распространения.Она широко используется в лаборатории тонкий слой подготовки

Технические параметры

Модель №	CY-O-PECVD1200-50является
Рч частотой	13,56 Мгц 0,005% стабильности
Отражение мощности	200 Вт макс.
Выходная мощность	5 -300 us W регулируемый с ± 1 % стабильности
Выход RF	50 Ω, N-типа,
Соответствующие	Автоматическая
Дисплей	Индикатор цифровой манометр
Ограничения температуры	1200ºC
Рабочая температура	≤1100ºC
Скорость нагрева	0-20ºC/мин
Длина зоны нагрева	200мм, постоянная температура зоны:80мм
Кварцевую трубку диаметром	Наружный диаметр50*1000 мм
Точности измерения температуры	± 1 °С
Реле погружных подогревателей	Fe-Cr-аль-сплава принять в Мо
Тепловой пару	K ТИПА
Метод охлаждения	Двойной слой структуры с вентилятором системы охлаждения двигателя
Контроль температуры	30 шагов программируемого управления PID
Камера материала	Глинозема волокна
Вакуумный насос	Механические узлы и агрегаты роторного вакуумного насоса:10-2Торр Turbo насос с Вращающийся вакуумный насос:10-5Торр
Метод охлаждения	Охлаждение воздуха
Соединительный трубопровод	Упругий элемент из нержавеющей стали, ручного клапана заслонки впуска воздуха
Газового смесителя	4 Таким образом газового смесителя
Точность	±2%F.S.
Повторите точность	±0,2 % FS
Линейные precision	±1%F.S.
Рабочее давление:	-0.1Мпа~0,15 Мпа
MFC1 выше допустимых пределов	0~100SCCM
MFC2 выше допустимых пределов	0~200SCCM
MFC3 выше допустимых пределов	0~200SCCM
MFC4 выше допустимых пределов	0~500SCCM
Рабочее напряжение	AC220V,50Гц