Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Оборудование для алмазного осаждения MPCVD с одним кристаллом
Система химического осаждения паров плазмы СВЧ-излучения (MPCVD) в основном используется в алмазной пленке из одного кристалла и поликристаллического алмаза, выращенном алмазами, химическом осаждении паров алмазной пленки (CVD), обработке и модификации поверхности материала, низкотемпературном росте оксида и других областях.
Приложение
Подготовка высококачественного однокристального алмаза;
Подготовка высококачественных поликристаллических безстоящих алмазных пленок;
Подготовка высококачественных поликристаллических алмазных пленок;
Подготовка различных углеродных нанопленок, таких как графен, углеродные нанотрубки, фуллерены и алмазные пленки.
Функции
1) Высокая эффективность производства, большая производительность, высокое качество, 7*7--81 бриллиантов, 8*8--65 бриллиантов, 9*9--51 бриллианты, 10*10--42 бриллианты, 12*12--26 бриллианты, 15*15--17 бриллианты
Различные размеры, различный количество алмазов.
2) Оборудование достигло промышленного производства. Молибденовая стадия имеет размер 90 мм , с высокой скоростью роста, высокой скоростью выхода и хорошей стабильностью.
3) в настоящее время оборудование является первым основным оборудованием дома и за рубежом, которое может обеспечить промышленное производство монокристаллического алмаза. Точность и качество обрабатываемых компонентов чрезвычайно высоки.
4) качество обработки нашего оборудования довольно высокое. Оснащен передовыми технологиями производства, которые гарантируют клиентам производство продукции, соответствующей требованиям.
Технические характеристики
| Вакуум | Измерение вакуума | Пьезоэлектрический резистивный манометр, емкостный манометр 0.1 кПа, 0 Па |
| Диапазон рабочего давления | 4 кПа | |
| Скорость утечки вакуума | <1*10-9 Па·м 3 / с. | |
| Управление давлением | Автоматическое управление | |
| Материал полости | Камера возбуждения из алюминиевого сплава, кварцевая вакуумная камера | |
| Окно наблюдения | Отверстие для измерения температуры диаметром 10 мм и смотровое окно пористого отверстия | |
| Режим охлаждения | Режим охлаждения | Охлаждение водой + охлаждение воздуха в камере |
| Размер таблицы образцов | Молибденовая ступень Φ 85 мм, однородная площадь Φ 50 мм | |
| Измерение температуры | Инфракрасный термометр, диапазон 300-1400°C. | |
| Поток охлаждающей воды | >50 л/мин | |
| Температура охлаждающей воды | 20–22°C. | |
| Интерфейс охлаждающей воды | 1-дюймовый внешний проводной интерфейс | |
| Операционная система | Операционная система | Управление ПЛК, управление 15-дюймовым сенсорным экраном |
| Меню процесса | 10 меню процесса, 25 строки для каждого | |
| Микроволновая печь и источник питания | Частота микроволн | 2.45±0,1 ГГц |
| Выходная мощность | 1.5 кВт (с внутренним источником питания для микроволновой печи мощностью 10 квт) | |
| Входная мощность | 380 AC/50 Гц, трехфазный, 5-проводной (3 * 10+2 * 6 линия питания),>15 кВт | |
| Скорость утечки в микроволновом диапазоне | Скорость утечки микроволн на расстоянии 5 см от оборудования ≤ 5 мВт/см2 | |
| Технологический газ | Расходомер и интерфейс | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "VCR Быстроразъемная заглушка трубы PU 8 мм для сжатого воздуха с внутренней резьбой |
| Расходомер может изменять тип газа, используемого через программное обеспечение | ||
| Давление подачи воздуха | 0.3–0,35 МПа | |
| Давление сжатого воздуха | 0.5–0,6 МПа | |
| Вакуумный насос | Вакуумный насос с вращающейся лопастью | Масляный насос |
| Скорость насоса | 4L/S. | |
| Источник питания | AC 380 в (±10%) | |
| Интерфейс | Отвод воздуха KF25, выпуск воздуха KF25 | |
| Условия эксплуатации | Температура и влажность окружающей среды | Температура в помещении ниже 26°C и влажность ниже 40% |
| Габаритные размеры | Размер | 1250(Д)×800(Ш)×2100(В)ММ |
| Условия приемки оборудования: | 1. Установка оборудования: После завершения установки оборудования стороны A и Сторона B должны провести ввод оборудования в эксплуатацию на месте, а технические специалисты стороны B должны провести обучение эксплуатации оборудования, технике безопасности и техническому обслуживанию для лица, которое отвечает за сторону A. | |
| 2. Проверка системы: Система может быть запущена и работать нормально, а отсоединенный огненный шар устойчив без прыжка. | ||
| 3. Утечка в микроволновую печь: Утечка в микроволновой печи составляет менее 5 мВт/см2 (выходная мощность источника СВЧ составляет более 80%, на расстоянии 10 см от оборудования) | ||
Контактная информация:
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик 
