High Vacuum Dual targets Магнетрон, котер с трансмиссией и. Обработка корпуса камеры образцов

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• Индивидуальные: Номера Индивидуальные
• Состав: Рабочий стол
• Материал: Нержавеющая сталь
• Сертификация: CE
• Модель №.: CY-MSP-300
• заявка: Школа, Лаборатория
• Тип: Film Applicator
• Sputtering Vacuum Chamber: 400xh520mm
• способ уплотнения: Fluorine Rubber Seal
• держатель образца: диам. 150 мм
• температура нагрева: Rt~ 500c
• Magnetron Sputtering Gun: 3 комплекта
• Target Dimension: Diameter 2′′, Thickness Max.3m
• Molecular Pump Speed: 600 л/с.
• Транспортная Упаковка: Wooden Case
• Характеристики: Film Applicator
• Торговая Марка: CYKY
• Происхождение: China
• Производственная Мощность: 10 Sets Per Month

Описание Товара

Трехцелевое устройство для нанесения покрытия магнетрона на основе ионного источника с переходным механизмом корпус камеры

Введение в продукт:  
это оборудование представляет собой три аппарата для нанесения магнетрона на коатер, которые могут использоваться для подготовки металлических тонких пленок. Он имеет области применения в области электроники, оптики и специальной керамической подготовки. Также его можно использовать для подготовки лабораторных образцов SEM.
Трехканальный магнетрон-котер с напылом оснащен двумя магнитными мишенями и двумя наборами источников питания постоянного тока и одной системой источника ионов, которая может использоваться для покрытия многослойных проводящих металлических пленок.  При этом оборудование состоит из двух частей: Основной камеры и переходной камеры. Переходная камера оснащена магнитной толкающей штангой, а между двумя камерами установлен вакуумный запорный клапан;  пользователь может загружать образцы в переходную камеру при выполнении работ по разбрызгиванию в главную камеру и выполнять предварительную вакуумную прокачку. После завершения разбрызгивания в основной камере образец можно протолкнуть в платформу для образца главной камеры через магнитный толкатель.  Такая конструкция может сократить количество времени откачки вакуума в основной камере, что не только эффективно экономит время, но и обеспечивает лучший местный вакуум и эффективно улучшает качество покрытия.
 

Три целевых технических тараматора для напыления магнетрона:

Рабочее напряжение		220 в перем. Тока, 60 Гц
Разрезающей вакуумной камеры		Размер: ~ φ400xH520mm Материал: Нержавеющая сталь 304  Обработка внутренних стенок: Электролитическая полировка Способ уплотнения: Фторкаучуковый уплотнитель  Окно просмотра (окно): ~4'' (100 мм) с затвором
Держатель образца		Центральный нижний держатель образца с одной шторкой  Держатель образца: Диаметр 150 мм  Частота вращения: 0–20 об/мин    Температура нагрева: От RT до 500oC
Магнетрон Пушка		Количество: 3 комплектов Регулируемый угол -45°~45° Направление разбрызгивения вниз  Целевой размер: Диаметр 2'', толщина макс
Кварцевый кристаллический монитор		Номера каналов: Одноканальный  Погрешность: 0.1Ã Скорость измерения: 100 мс-1S регулируется Диапазон измерений: 500 000Ã (алюминий в качестве эталона)  Кварцевый кристалл стандартного датчика: 6 МГц
Вакуумная система	Насос обратной подачи	Двухступенчатый роторно-лопастной насос  Скорость подачи: 1,1 л/с.
	Молекулярный насос	Скорость подачи: 600 л/с.  Номинальная частота вращения: 27000 об/мин Время запуска: <5 мин Способ охлаждения: Водяное охлаждение Степень вакуума: 5*10^Па
	Композитный вакуумный манометр	Измеритель сопротивления + ионизационный манометр  Диапазон измерения: От 10^до 5 Па ~ 105 Па
Источник питания постоянного тока		Количество: 2 комплектов   Выходная мощность: 0–500 Вт. Выходное напряжение: 0–600 В. Максимальный выходной ток: 1 А. Время начала: 1–10 с.
Источник питания РЧ		Количество: 1 шт. Выходная мощность: 0–500 Вт. Частота радиосигнала: 13.56 МГц Метод сопоставления:  автосопоставление Отраженная мощность: <=100 Вт. Стабильность мощности: ±0.1%   при необходимости очистки, Дополнительный генератор питания с диагональным кордом
Компоненты источника ионов и источник питания		Основные технические параметры источника ионов: 1 Диаметр источника ионов: 60 мм 2. Ионная энергия: 200-1500eV 3. Ток пучка источника ионов: 10 мА/мин 4.Однородная зона: φ10cm 5. Рабочий газ: Аргон/кислород/азот 6. Рекомендуемый размер вакуумной камеры: ≤Φ500mm 7. Зазор между катодами Ширина: 3 мм 8. Напряжение разряда:>300 в, регулируемое напряжение
Контроллер массового расхода		Одноканальный MFC для газа AR Диапазон измерения: 0~200scсм   может быть добавлен несколько каналов расходомера, дополнительный заказ.
Охладитель воды		Расход: 13 л/мин Мощность: 0,5 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/°C. Емкость бака: 9 л.
Управление		Автоматическое управление ПЛК
Переходная камера		Размер камеры будет составлять не более 4-дюймовые пластины. Оснащен одной компактной молекулярной насосной группой Насос-основа: VRD-4, скорость насоса: 1,1 л/с. Модель молекулярного насоса: TG60F Скорость насоса молекулярной системы: 60 л/с.