Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик |
Название продукта |
Двухцелевая магнитная котека с напыления с переходной камерой |
|
Модель продукта |
CY-MSP325G-2T-DVC-2DC (двойная вакуумная камера) |
|
Условия установки |
1. Рабочая температура 25°C±15°C, влажность 55%RH±10%RH; 2. Источник питания оборудования: 220 в, 50 Гц, должен быть заземлен; 3. Номинальная мощность: 5000 вт; 4. Газ оборудования: Камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки, а заказчику необходимо подготовить аргон с чистотой ≥99.99%; 5. Размер помещения — 1200×1200×2000 мм; 6. Положение установки требует хорошей вентиляции и теплоотвода. |
|
Технические параметры |
1. Источник питания с разбрызгиванием: Источник питания постоянного тока 500 Вт x2; максимальное выходное напряжение 600 в, предельный выходной ток 1000 мА 2. Магнитная мишень: 2-дюймовая сбалансированная мишень с магнитной перегородкой; 3. Применяемый целевой материал для цели магнетрона: φ50mm x 3 мм материал токопроводящего металлического мишени 4. Размер гнезда: φ325mm основной полости x 410 мм; переходный разъем 150x150x150мм 5. Функция камеры: Основная камера оборудована боковой дверцей, герметично закрываемой уплотнительным кольцом, кварцевым смотриным окном с перегородкой и ручным рабочим стержнем для переноса образцов. Переходная камера оснащена верхней крышкой с кварцевым окном, герметичным уплотнительным кольцом, магнитной соединительной тягой для транспортировки образцов в главную камеру, и независимой вакуумной системой. 6. Материал полости: Нержавеющая сталь 304 7. Вращающийся столик для образцов с нагреванием: Скорость постоянно регулируется в диапазоне от 1 до 20 об/мин; температура нагрева составляет до 500°C, а скорость нагрева рекомендуется 10°C/мин, а максимальная температура — 20°C/мин 8 метод охлаждения: Магнетронный мишень и молекулярный насос нуждаются в циркуляционной водоохладителе ; 9. Водоохладитель: Объем резервуара для воды 9 л, расход 10 л/мин 10. Система подачи газа: Массовый расходомер газа типа AR , расход 1~200 ссм (настраиваемый); 11. Погрешность расходомера: Диапазон ±1.5% 12. Интерфейс насоса вакуумной камеры CF160; 13. Впускной воздушный патрубок представляет собой 1/4-дюймовый двойной обжимной штуцер; 14. Дисплей представляет собой 14 промышленных компьютеров-моноблоков; 15. Можно отрегулировать ток разбрызгивения, а также задать значение безопасного тока и безопасное значение вакуума; 16. Защита: При слишком низком токе и вакууме автоматически отключается ток разбрызгивания; 17. Вакуумная система: Основная камера оснащена высоковакуумным молекулярным насосом CY-GZK103 со скоростью насоса 600 л/с; переходная камера оснащена небольшим молекулярным насосом со скоростью насоса 60 л/с. Два комплекта вакуумных систем могут работать и управлять независимо, а пневматические клапаны между камерами и в вакуумной системе управляются программами, которые могут осуществлять одно-кнопочный действия, что удобно и быстро. 18. Максимальный вакуум: 5E-4Pa (с молекулярным насосом); 19. Вакуумное измерение представляет собой композитный вакуумметр, диапазон измерения которого составляет от 10 до 5 Па |
|
Меры предосторожности |
1. Для достижения более высокой концентрации кислорода в окружающей среде вакуумную камеру необходимо очищать инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз. 2. Магнетрон более чувствителен к объему всасываемого воздуха, и для управления объемом впускного воздуха необходимо использовать расходомер массы. 3. Держите полость в вакууме, когда оборудование не используется. 4. Если пылесос не был пылесосен в течение длительного времени, его необходимо дегазирован при повторном использовании для улучшения качества работы вакуумного насоса. |
|
Дополнительные принадлежности |
|
|
Монитор толщины пленки |
1. Толщина пленки Разрешение: 0.0136Å (алюминий) 2. Погрешность толщины пленки: ±0.5%, в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/время, диапазон измерения можно установить: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный кристалл датчика: 6 МГц 5. Применимая частота чипа: 6 МГц применимый размер чипа: Φ14mm монтажный фланец: CF35 |
|
Другие аксессуары |
1. Высокопроизводительный комплект молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая составной вакуумный манометр, диапазон измерения 10–5PA–105 Па); Серия CY-GZK60, комплект малых молекулярных насосов (включая составной вакуумный манометр, диапазон измерения 10–5PA~102 Па) VRD-4 биполярный лопастной вакуумный насос; 2. Вакуумные гофрированные мембраны KF25/40; длина может составлять 0,5 м, 1 м, 1,5 м; кронштейн зажима KF25 3. Кварцевый генератор измерителя толщины пленки; |
Контактная информация: 
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик 
