1200c плазменных Enhanced химического осаждения PECVD Funace вакуумного насоса

• заявка: Школа, лаборатория
• Индивидуальные: Индивидуальные
• сертификация: CE
• Состав: рабочий стол
• материал: Нержавеющая сталь
• Тип: Трубчатые печи
• Модель №.: CY-PECVD-T01
• печь вакуумной трубки: кварц высокой чистоты
• диаметр трубы: 50 мм
• длина зоны нагрева: 400 мм
• рабочая температура: 0–1100c
• рч: 13,56 мгц + 0.005%
• система подачи газа: расходомер газа
• точность измерения: +-0.2%
• непревзойденный вакуум: 1,0e-1pa
• роторный лопастной насос: 1,1 л/с.
• Транспортная Упаковка: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Packagi
• Характеристики: PECVD furnace
• Торговая Марка: CYKY
• Происхождение: Zhengzhou Henan China

Описание Товара

1200C плазменных Enhanced химического осаждения PECVD вакуумные печи


описание продукта  от PECVD вакуумные печи
Телевизор с плазменным экраном расширенного CVD машины состоит из генератора плазмы, на три зоны нагрева трубы печи, один - зона нагрева трубы печи, радиочастотный блок питания и вакуумная система.
Для того чтобы химической реакции происходят при более низкой температуре, в результате деятельности плазмы используется для содействия реакции, и поэтому CVD называется плазменных enhanced химического осаждения паров (PECVD). В PECVD graphene пленки подготовка устройства ionizes газа с пленки составные atom с помощью ВЧ выход 13, 56 Мгц, формы плазмы в вакуумную камеру, использует strong химической активности плазмы, улучшает условия реакции и использует плазменных деятельность по содействию реакции, а затем депозиты в желаемое пленки на подложке.

Области применения:
Это оборудование может использоваться в различных местах проверки, таких как подготовка graphene, сульфида подготовки и-нанометровой производственной технологии. Различных фильмов, таких как SiOx, SiNx, аморфный кремний, микрокристаллическая кремния, nano-кремний, SiC, diamond - как и т. Д. Могут быть сданы на хранение на поверхности листа или аналогичные формы образца и p и n-типа doped фильмов также могут быть сданы на хранение. Что сдала на хранение пленка имеет хорошее единообразия, компактности, сцепление и короткого замыкания. Она широко используется в таких областях, как вращающиеся, высокоточные пресс-форм, жесткого покрытия, high-end художественным оформлением и т. Д.


Технические параметры  PECVD вакуумные печи
 

Три зоны нагрева трубы печи	Модель	CY-O1200-50компании IIIT в
	Трубка материала	Высокая степень чистоты кварц
	Диаметр трубки	50мм
	Длина трубки	2830мм
	Камера печи длины	660мм
	Зона нагрева длина	200мм+200мм+200мм
	Рабочая температура	0~1100ºC
	Контроль температуры точность	± 1 °С
	Температура в режиме управления	30 или 50 сегмент программы контроля температуры
	Режим отображения	Жк-дисплей
	Метод уплотнения	304 из нержавеющей стали с фланцем вакуумного насоса
	Интерфейс с фланцем	1/4" с обжимным кольцом,   KF16/25/40 совместных
	Вакуум	4.4E-3Pa
	Источник питания	AC: 220V 50/60Гц
- Зона нагрева трубы печи	Модель	CY-O1200-50она
	Трубка материала	Высокая степень чистоты кварц
	Диаметр трубки	50мм
	Длина трубки	2830мм
	Камера печи длины	440мм
	Зона нагрева длина	400мм
	Постоянная  Температура зоны	200мм
	Рабочая  Температура	0~1100ºC
	Контроль температуры точность	± 1 °С
	Температура в режиме управления	30 или 50 сегмент программы контроля температуры
	Режим отображения	Жк-дисплей
	Метод уплотнения	304 из нержавеющей стали с фланцем вакуумного насоса
	Интерфейс с фланцем	1/4"  С обжимным кольцом, KF16/25/40 совместных
	Вакуум	4.4E-3Pa
	Источник питания	AC: 220V 50/60Гц
Выход RF системы	Диапазон мощности	0~500W регулируемый
	Рабочая частота	13.56Мгц+0.005 %
	Рабочий режим	Выходная
	Режим отображения	Жк-дисплей
	Соответствует режим импеданса	Не может сравниться, запальная свеча равномерно покрыта три зоны нагрева печи трубки
	Источник стабильности	≤2 Вт
	Нормальная рабочая мощность отраженной волны	≤3W
	Усиленная мощность отраженной волны	≤70 W
	Гармоническая компонента	≤от -50 до dBc
	Эффективность работы машины	≥70%
	Коэффициент мощности	≥90%
	Напряжение питания / частоты	Однофазные переменного тока (187 в~153V) частотой 50/60 Гц
	Режим управления	Внутренний контроль / PLC аналоговый / RS232 / 485 сообщения
	Защита электропитания для настройки	Постоянного тока защита от перегрузки по току, усилитель мощности защита от перегрева, отражены защита электропитания
	Метод охлаждения	Принудительное воздушное охлаждение
	Длина запальной свечи	В AR System, источник питания и катушкой объединены на реле запальной свечи и на реле запальной свечи может заполнить длину печи в трех зонах нагрева.
Системы Газоснабжения	Четыре канала масса датчика массового расхода воздуха	Масса датчика массового расхода воздуха
	Диапазон расхода	MFC1 диапазон: 0~200sccm   MFC2 диапазон:   0~200sccm MFC3 диапазон: 0~500sccm   MFC4 диапазон: 0~500sccm В соответствии с газов H2, CH4, N2, Ar,
	Точность измерений	±1, 5%F. S
	Повторяемость	±0, 2%FS
	Линейные precision	±1%F. S.
	Время отклика	≤4s
	Рабочее давление	-0.15Мпа~0, 15 Мпа
	Управление потоком	Сенсорный ЖК-экран, цифровой дисплей, каждый канал газ содержит игольчатый клапан для индивидуального контроля и
	Интерфейс забора воздуха	Может быть подключен к 1/4ЯИЭ или 6мм внешний  Диаметр из нержавеющей стали
	Интерфейс на выходе	Может быть подключен к 1/4ЯИЭ или 6мм внешний  Диаметр из нержавеющей стали
	Способ подключения	Двойной разъем с обжимным кольцом
	Рабочая температура	5~45ºC
	Оао "Газпром" предварительно приготовленной смесью	С газом напольного типа устройства
Системы выпуска отработавших газов	Механический насос	Ротационный лопастной насос
	Подачу насоса	1.1L/S
	Система выпуска отработавших газов интерфейс	KF16
	Измерение разрежения	Сопротивление индикатора
	В конечном итоге вакуум	1, 0E-1Pa
	Источник питания	AC: 220V 50/60Гц
	Качать интерфейс	KF16
Топливораспределительной рампе	Длина направляющей	2, 5 м~3m Он может осуществить перемещение одного из печи положение в трех-зона нагрева печи для достижения быстрого роста температуры и упасть.

Примечание: В зависимости от потребностей эксперимента, вы можете выбрать значение температуры, температура зоны, размер печи, вакуумные системы, расходомер.


Связанные с фотографиями PECVD вакуумные печи



Трубы печи



Выхлопная система (вакуумный насос)

Основанная в 2005 Чжэнчжоу CY научного документа Co., Ltd. Является компания специализируется на разработке и производстве лабораторных исследований технологии оборудования. Продукты смешиваются, нажата, сожгли, вырезать и заземления, полированными, бумага с покрытием, аналитического оборудования и связанных с ними материалов. Продукция включает в себя лаборатории спекания оборудование, оборудование для нанесения покрытия и так далее. В настоящее время он был экспортирован в 25 странах и регионах, таких как Соединенные Штаты Америки, Европы и Юго-Восточной Азии, и был хорошо принят различных научных исследований.

У нас есть молодые технологических исследований и разработок, количество технических специалистов - 33, компания имеет 150 человек, более 500 квадратных метров служебных помещений, на заводе охватывает площадь около 1500 квадратных метров расположен в Женгжоу высокотехнологичные электронные зоны промышленного парка. Продукты, расположены главным образом в области исследования рынка и научных исследований в лабораториях университетов и колледжей, а также могут настроить продуктов в соответствии с вашими потребностями.





Вопрос: Вы являетесь производителем или торговой компании?
A. Мы профессиональной лаборатории производители приборов, имеют свои собственные проектной группы и на заводе, молодые технический опыт и может гарантировать качество продукции и оптимальные цены.

Вопрос о том, как ваша компания в продукт послепродажного обслуживания системы?
Сборка устройства гарантийный срок - 12 месяцев, мы можем предоставить техническое обслуживание на весь срок службы. Мы professional, продаж и послепродажного департаментов, которые могут ответить вам в течение 24 часов для устранения любых технических вопросов.

Вопрос: Как долго - это ваш срок поставки? Если я хочу настроить на щитке приборов, сколько времени нужно предпринять?
А. 1. Если товары имеются в наличии, 5-10 дней. 2. Мы можем предоставить специализированные услуги для наших клиентов. Он обычно занимает 30-60 дней в зависимости от характеристик custom щиток приборов.

Вопрос нашей страны к источнику питания и разъем отличаются. Каким образом можно решить эту проблему?
A. Мы можем питания трансформатор и пробку в соответствии с местными требованиями в соответствии с вилкой питания в различных странах.

Вопрос Как оплатить?
A. T / T, L / C и D/P и т. Д., рекомендуется использовать Alibaba торговли.

Вопрос как на упаковке товаров? Методы доставки?
А. 1. Стандартный экспорт фумигации знак деревянный ящик упаковки 2. Express, воздушного, морского судоходства в соответствии с требованиями заказчика, найти наиболее подходящий способ.

Дополнительные вопросы, обратитесь в службу обслуживания клиентов