After-sales Service: | 24 Hours After Sales Service |
---|---|
Warranty: | 1 Year |
заявка: | Промышленность, лаборатория |
Индивидуальные: | Индивидуальные |
сертификация: | CE, ISO |
Состав: | рабочий стол |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Jinan ACME MW1070 MPCVD машина | ||
Вакуум | Измерение вакуума | Пьезорезистивный манометр 0.1 кПа емкостный манометр 0 Па |
Диапазон рабочего давления | 4 кПа | |
Скорость утечки вакуума | ≤ 5 * 10 Па.м3/с (обнаружение утечек HE) | |
Управление давлением | Автоматическое управление | |
Материал полости | Камера возбуждения из алюминиевого сплава, кварцевая вакуумная камера | |
Окно наблюдения | Отверстие для измерения температуры диаметром 10 мм и смотровое окно пористого отверстия | |
Режим охлаждения | Режим охлаждения | Охлаждение водой + охлаждение воздуха в камере |
Размер таблицы образцов | Ступень молибдена Φ 70 мм, однородная площадь Φ 50 мм | |
Измерение температуры | Инфракрасный термометр, диапазон 300-1400°C. | |
Поток охлаждающей воды | >50 л/мин | |
Температура охлаждающей воды | 20–22°C. | |
Интерфейс охлаждающей воды | 1-дюймовый внешний проводной интерфейс | |
Операционная система | Операционная система | Управление ПЛК, управление 15-дюймовым сенсорным экраном |
Меню процесса | 10 меню процесса, 25 строки для каждого | |
Микроволновая печь и источник питания | Частота микроволн | 2.45±0,1 ГГц |
Выходная мощность | 1.5 кВт (с внутренним источником питания для микроволновой печи мощностью 10 квт) | |
Входная мощность | 380 AC/50 Гц, трехфазный, 5-проводной (3 * 10+2 * 6 линия питания),>15 кВт | |
Скорость утечки в микроволновом диапазоне | Скорость утечки микроволн на расстоянии 5 см от оборудования ≤ 5 мВт/см2 | |
Технологический газ | Расходомер и интерфейс | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "VCR Быстроразъемная заглушка трубы PU 8 мм для сжатого воздуха с внутренней резьбой |
Расходомер может изменять тип газа, используемого через программное обеспечение | ||
Давление подачи воздуха | 0.3–0,35 МПа | |
Давление сжатого воздуха | 0.5–0,6 МПа | |
Вакуумный насос | Вакуумный насос с вращающейся лопастью | Масляный насос |
Скорость насоса | 4L/S. | |
Источник питания | AC 380 в (±10%) | |
Интерфейс | Отвод воздуха KF25, выпуск воздуха KF25 | |
Условия эксплуатации | Температура и влажность окружающей среды | Температура в помещении ниже 26°C и влажность ниже 40% |
Габаритные размеры оборудования | Размер | 1250(Д)×800(Ш)×2100(В)ММ |
Внешний вид оборудования | ||
Условия приемки оборудования: | 1. Установка оборудования: После завершения установки оборудования стороны A и Сторона B должны провести ввод оборудования в эксплуатацию на месте, а технические специалисты стороны B должны провести обучение эксплуатации оборудования, технике безопасности и техническому обслуживанию для лица, которое отвечает за сторону A. | |
2. Проверка системы: Система может быть запущена и работать нормально, а отсоединенный огненный шар устойчив без прыжка. | ||
3. Утечка в микроволновую печь: Утечка в микроволновой печи составляет менее 5 мВт/см2 (выходная мощность источника СВЧ составляет более 80%, на расстоянии 10 см от оборудования) |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями