Послепродажное обслуживание: | онлайн-сервис |
---|---|
Гарантия: | один год |
Тип: | магнетрон |
Покрытие: | Вакуумное Покрытие |
Подложка: | Сталь |
Сертификация: | CE |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Трехканальный магнетрон-котер с разбрызгиванием и нижней целью
МАГНЕТРОН-ШПУТИНГ: ОБЗОР
Спутирование — это процесс осаждения на основе плазмы, при котором энергетические ионы ускоряются в направлении мишени. Ионы ударят цель, и атомы выбрасываются (или измоются) с поверхности. Эти атомы попадают в подложку и встраиваются в растущую пленку.
Оборудование для нанесения покрытия магнетронов является специальным лабораторным инструментом для нанесения покрытий, разработанным нашей компанией. Оборудование может быть оснащено источником питания постоянного тока и источником питания РЧ. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт. Может использоваться для подготовки однослойных или многослойных ферроэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, легированных пленок, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрические пленки, оптические пленки и т.д.
По сравнению с обычным плазменным напыления, магнетрон-sputtering обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Магнитронная мишень оборудована слоем с водяным охлаждением. Водоохладитель может эффективно отводить тепло и избежать накопления тепла на поверхности мишени, чтобы покрытие магнетрона могло работать стабильно в течение длительного времени.
Технические характеристики магнетронного котера-разлитника:
Название продукта | Трехканальный магнетрон, коатер с разбрызгиванием | |
Платформа для образца | Размер | Диаметр 150 мм |
Температура нагрева | Макс. 500°C. | |
Точность измерения температуры | ±1°C. | |
Частота вращения | 1 об/мин с регулировкой | |
Мишень для разбрызгиения магнетрона | Количество | 2"×3 (1",2" дополнительно) |
Режим охлаждения | Водяное охлаждение | |
Водоохладитель | Циркулирующий водоохладитель со скоростью потока 10 л/мин | |
Вакуумная камера | Размер камеры | Диаметр 300*300 мм |
Материал камеры | Нержавеющая сталь | |
Окно просмотра | Диаметр 100 мм | |
Режим открытия | Верхнее отверстие | |
Расходомер массы | 2 канала; диапазон измерений 100SCCM; 100SCCM (может быть настроен в соответствии с потребностями клиента) | |
Вакуумная система | Модель | CY-GZK103-A |
Молекулярный насос | 600 л/с. | |
Насос подачи топлива | 1,1 л/с. | |
Непревзойденный вакуум | 1,0E-5PA | |
Интерфейс насоса | CF160 | |
Интерфейс системы выпуска отработавших газов | KF40 | |
Измерение вакуума | Составной вакуумный манометр | |
Источник питания | 50 в перем. Тока, 50/60 Гц | |
Скорость насоса | Разрежение до 1,0E-3PA за 20 минут | |
Конфигурация питания | Количество | Источник питания постоянного тока x2 Источник питания RF x1 |
Максимальная выходная мощность | 500 ВТ ПОСТ. ТОКА, 300 ВТ РЧ | |
Другие параметры | Напряжение питания | 220 в, 50 Гц |
Полная мощность | 4 КВТ | |
Общий размер | 600 мм×650 мм×1280 мм | |
Общий вес | Около 350 кг |
1. У НАС имеется магнетрон-котер с 1 мишенью, 2 мишенями, 3 мишенями, 4 тагрстом и т.д. цель может быть спроектирована в верхней или нижней части камеры.
2. Возможна подача питания постоянного тока или РЧ-излучения мощностью 0–1000 Вт. Функция смещения является дополнительной.
3. Целевой размер: 1, 2, 3, 4 и т. д.
4. Сильная магнитная мишень и пернананентная магнеетическая мишень являются необязательными
5. Магнетрон, натеряющийся в коater с испарением, доступен E-пучок
6. Всегда доступно индивидуальное обслуживание!
МЫ можем отправить магнетрон sputter coater по суше, по морю, по воздуху, экспресс, также можем организовать упаковку и поставку в соответствии с вашими требованиями.
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
МАГНЕТРОН ПРАВИЛЬНО ОБРАБАТЫВАЕТ ВАШИ РАБОТЫ?
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями