Послепродажное обслуживание: | 12 месяцев |
---|---|
Гарантия: | 12 месяцев |
Сертификация: | CE |
система подачи газа: | расходомер газа |
выходная мощность рч-сигнала: | 50 вт |
способ охлаждения: | водяное охлаждение |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Роторная печь для труб PECVD
Этот продукт представляет собой систему плазменной ротационной химической паровых осаждений (ротационная система PECVD). В трубе печи используется конструкция с переменным диаметром. Средний диаметр трубы относительно толстый и имеются перегородки для смешивания, которые могут многократно смешивать порошок или частицы с вращением трубы печи. Рабочую трубку можно повернуть на 360° без перерыва с помощью механического управления трансмиссией, чтобы материалы в трубке перемешились и перемешились для получения однородного эффекта нагрева; оборудование также оснащено плазменным генератором, который соединен с нагревательной трубкой индуктивной муфтой, и образованная плазма может эффективно накрыть топочную трубку, увеличить энергию активации реактантов, снизить температуру реакции, а также повысить эффективность реакции. Оборудование оснащено трехходомером массового расхода и газовым смесителем, который может использоваться для прохождения различных газов в трубу. В то же время оборудование оснащено высокопроизводительным механическим насосом, который может быстро откачать трубу печи в вакуум; сотрудничество насоса и газового контура может обеспечить более высокий ПРОЦЕСС CVD. Вращающееся устройство очень подходит для непрерывного нанесения покрытия и модификации порошковых материалов методом CVD в среде, защищенной от воздействия атмосферных условий.
Двухзонная трубная печь | Модель продукта | TN-PECVD60R-1200-Q |
Мощность оборудования | 3 КВТ | |
Материал трубы печи | Кварц высокой чистоты | |
Размер трубы печи | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420 мм (кварцевая гетероморфная трубка) | |
Длина камеры печи | 440 мм | |
Длина зоны нагрева | 200 мм+200 мм | |
Рабочая температура | 0–1150°C. | |
Предельная температура | 1200°C. | |
Точность регулирования температуры | ±1°C. | |
Тип термопары | Термопара типа K. | |
Режим регулирования температуры | 30-сегментное управление температурой программы, самонастройка параметров PID | |
Режим отображения | Полноцветный сенсорный ЖК-экран HD | |
Способ уплотнения | 304 вакуумный фланец из нержавеющей стали | |
Источник питания | 50 в перем. Тока, 50/60 Гц | |
Скорость вращения | 0–13 об/мин | |
Угол наклона | 0–35° | |
3-канальный расходомер массы | Модель продукта | CY-3Z |
Количество газовых каналов | 3 каналов | |
Тип расходомера | Массовый расходомер | |
Диапазон измерения | Канал A: 0–100 см; канал B: 0~200 sccm; канал C: 0~500 sccm | |
Точность измерения | ±1.5% | |
Разница рабочего давления | 0.1–0,5 МПа | |
Интерфейс трубопровода | 1/4-дюймовый соединитель обжимных наконечников | |
Источник питания | 50 в перем. Тока, 50/60 Гц | |
Вакуумная система | Вакуумный насос | Двухступенчатый роторно-лопастной насос |
Скорость насоса | 1,1 л/с. | |
Отверстие насоса | KF16 | |
Создайте максимальное разрежение | 10E-1Па | |
Источник питания | 50 в перем. Тока, 50/60 Гц | |
Источник питания РЧ | Частота сигнала | 13,56 МГц±0.005% |
Диапазон выходной мощности | 0–500 ВТ. | |
Максимальная отраженная мощность | 100 ВТ. | |
Интерфейс РЧ-выхода | 50Ω, N-тип, женский | |
Стабильность мощности | ≤5 ВТ. |
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональными производителями лабораторного оборудования, имеем собственную команду проектирования и завод, имеем зрелый технический опыт, и можем гарантировать качество продукции и оптимальную цену.Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями