| Послепродажное обслуживание: | 12 месяцев |
|---|---|
| Гарантия: | 12 месяцев |
| Тип: | Линия Нанесения Покрытий |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Проверено независимым сторонним инспекционным агентством
Спутирование — это процесс осаждения на основе плазмы, при котором энергетические ионы ускоряются в направлении мишени. Ионы ударят цель, и атомы выбрасываются (или измоются) с поверхности. Эти атомы попадают в подложку и встраиваются в растущую пленку.
1 Трехцелевая магнитная котерная котерка является экономически эффективным магнитно-напыляющим оборудованием. Он стандартизован, модульен и настраивается.
2. Имеются 1-дюймовые, 2-дюймовые и 3-дюймовые магнетронные мишени. Можно выбрать цель в соответствии с размером подложки, которую необходимо покрыть.
3. Магнетрон-ваттер с напыления оснащен мощностью 500 Вт постоянного тока и мощностью 500 Вт РЧ. Питание постоянного тока используется для кондуктивного материала, а радиочастотная мощность используется для изоляционных материалов. Мощность от 300 Вт до 1000 Вт в соответствии с вашими требованиями.
4 Магнитерная коuttering оснащена двухканальным высокоточным расходомером массы. Четырехканальные расходомеры массы —
доступно.
5. Магнетрон-коутер с разбрызгивателем оснащен турбо-молекулярным насосом, а окончательный вакуум до 10E-5PA, другие типы молекулярных насосов доступны для приобретения.
6. Канал подачи газа молекулярного насоса управляется несколькими электромагнитными клапанами, можно открыть камеру для отбора пробы без
выключение насоса.
7. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером для управления системой.
Технические характеристики магнетрона -sputter coater
| Платформа для образца | Размер | Диаметр 140 мм |
| Температура нагрева | Макс. 500°C. | |
| Точность измерения температуры | ±1°C. | |
| Частота вращения | 1 об/мин с регулировкой | |
| Головка для напыления магнетрона | Количество | 2"×3 (1",2" дополнительно) |
| Режим охлаждения | Водяное охлаждение | |
| Водоохладитель | Циркулирующий водоохладитель со скоростью потока 10 л/мин | |
| Вакуумная камера | Размер камеры | Диаметр 300 мм×300 мм |
| Материал камеры | Нержавеющая сталь | |
| Окно просмотра | Диаметр 100 мм | |
| Режим открытия | Верхняя крышка открыта | |
| Массовый расходомер | 2 канала; диапазон измерений 100SCCM; 100SCCM (может быть настроен в соответствии с потребностями клиента) | |
| Вакуумная система | Модель | TN-GZK103-A |
| Молекулярный насос | CY-600 | |
| Насос подачи топлива | Роторный лопастной насос | |
| Непревзойденный вакуум | 1,0E-5PA | |
| Интерфейс насоса | CF160 | |
| Интерфейс системы выпуска отработавших газов | KF40 | |
| Измерение вакуума | Составной вакуумный манометр | |
| Источник питания | 50 в перем. Тока, 50/60 Гц | |
| Скорость насоса | Молекулярный насос: Роторный лопастной насос 600 л/с: 1,1 л./с. Комплексная производительность при перекачке газа: Вакуумирование до 1,0E-3PA за 20 минут |
|
| Конфигурация питания | Количество | Источник питания постоянного тока x2 Источник питания RF x1 |
| Максимальная выходная мощность | 500 ВТ ПОСТ. ТОКА, 500 ВТ РЧ | |
| Другие параметры | Напряжение питания | 220 в, 50 Гц |
| Полная мощность | 4 КВТ | |
| Общий размер | 1090 мм* 900 мм* 1250 мм | |
| Общий вес | Около 300 кг | |
Примечания:
1. У нас имеется магнетрон-котер с 1 мишенью, 2 мишенями, 3 мишенями, цель может быть спроектирована в верхней или нижней части камеры.
2. Имеется источник питания постоянного тока или радиочастотная мишень.
3. Другой целевой материал является дополнительным
4. Прочный магнитный мишень и постоянный магнитный мишень являются дополнительными
5 имеется магнитно-напыленный коатер с источником испарения
6. Всегда доступно индивидуальное обслуживание!
Трехканальный магнетрон-ваттер с питанием 2*500 Вт пост. Тока и. 1*500 Вт РЧ-мощности
Трехканальный магнетрон-sputter с мишенью 3*3 дюйма Трехкомпонентный магнетрон-шпаттер с виброизоляционной пластиной Трехканальный магнетрон-sputter с переходной камерой
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональными производителями лабораторного оборудования, имея собственную команду проектирования и завод с развитым техническим опытом, и можем гарантировать качество продукции и оптимальную цену.
В. как работает система послепродажного обслуживания вашей компании?
A. Гарантия на изделие составляет 12 месяцев, мы можем обеспечить обслуживание на весь срок эксплуатации. У нас есть профессиональные отделы предпродажной подготовки и послепродажного обслуживания, которые могут ответить вам в течение 24 часов для решения любых технических проблем.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A.1. Если товар есть на складе, то это 5-10 дней. 2. Мы можем предоставлять индивидуальные услуги нашим клиентам. Обычно это занимает 30-60 дней в зависимости от технических характеристик пользовательского прибора.
В. в нашей стране источник питания и вилка отличаются. Как вы его решаете?
О. мы можем обеспечить подачу питания на трансформатор и вилку в соответствии с местными требованиями в соответствии с вилкой питания разных стран.
В. как оплатить?
A.T / T, L / C, D / P и т.д., рекомендуется использовать гарантию Made in China Trade Guarantee.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A.1. Стандартный экспортный знак фумигации деревянная упаковка 2. Экспресс, авиаперевозки, морские перевозки в соответствии с требованиями клиента, найти наиболее подходящий способ.
Дополнительные вопросы, пожалуйста, свяжитесь с нами.
