Послепродажное обслуживание: | 12 месяцев |
---|---|
Гарантия: | 12 месяцев |
Тип: | Линия Нанесения Покрытий |
Покрытие: | Вакуумное Покрытие |
Подложка: | Сталь |
Сертификация: | CE |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Оборудование для нанесения разлитого напыления магнетрона постоянного тока с одной целью является экономичным оборудованием для нанесения напыления магнетрона, которое было разработано и исследовано нашей компанией. Он обладает характеристиками стандартизации, модуляризации и настройки. Мишени магнетрона могут быть выбраны в диапазоне от 1 дюймов, 2 дюймов и 3 дюймов, и заказчики могут выбирать в соответствии с размером плакированной подложки; блок питания представляет собой источник питания постоянного тока мощностью 1500 Вт, который может использоваться для высокоэнергетического покрытия на основе металлических плакированных пламенов. В соответствии с экспериментальными требованиями для нанесения покрытия на различные материалы могут быть выбраны источники питания постоянного или радиочастотного тока других спецификаций.
В приборе для нанесения покрытий установлены два высокоточных массовых расходометра, и заказчики могут настроить газотранспорт до четырех массовых расходомеров, если они имеют другие требования для соответствия требованиям сложной газовой среды; Прибор оснащен усовершенствованным турбомомолекулярным насосом, установленным в стандартной комплектации, а максимальное разрежение может достигать 1,0E-5PA. В то же время, можно приобрести и другие типы молекулярных насосов. Газовый канал молекулярного насоса управляется несколькими электромагнитными клапанами, которые могут открыть полость для отбора проб без выключения насоса, что значительно повышает эффективность работы. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером управления для управления системой. Компьютерная программа может реализовать большинство функций, таких как управление группой вакуумных насосов и управление подачей энергии, что может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.
Технические параметры котера с одним магнитным напылом:
Одноцелевое устройство для нанесения покрытия магнетроном постоянного тока | ||
Платформа для образца | Размеры | φ185mm |
Диапазон нагрева | Комнатная температура~500°C. | |
Регулируемая скорость | 1 об/мин с регулировкой | |
магнитный контроль пистолет-мишень |
Целевая плоскость | Цель круговой плоскости |
Разрежение | 10–0,2 Па | |
Диаметр мишени | 50~50,8 мм | |
Толщина мишени | 2–5 мм | |
Напряжение изоляции | >2000 В. | |
Характеристики кабеля | SL-16 | |
Целевая температура головки | <=65°C. | |
Вещественное тело полости null | Обработка внутренних стенок | Электролитическая полировка |
Размер полости | φ300mm × 300 мм | |
Материал полости | 304 нержавеющая сталь | |
Окно наблюдения | Кварцевое окно диаметром φ100mm | |
Открытый метод | Верхнее отверстие, вспомогательная опора цилиндра | |
система управления газовым корпусом | Управление расходом | Массовый расходомер, диапазон аргона 0~200SCCM |
Тип управляющего клапана | Электромагнитный клапан | |
Статическое состояние управляющего клапана | Нормально замкнутый | |
Линейность измерения | ±1.5% ОТ F.S | |
Повторяемость измерений | ±0.2% ОТ F.S | |
Измерение времени отклика | ≤8 с (T95) | |
Диапазон рабочего давления | 0,3 МПа | |
Давление в корпусе клапана | 3 МПа | |
Рабочая температура | (5–45) °C. | |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L | |
Скорость утечки из корпуса клапана | 1×10 Па.м3/с. | |
Трубные соединения | 1/4″фитинг сжатия | |
Входной и выходной сигнал | 0–5 В. | |
Источник питания | ±15 в(±5%)(+15 в 50 мА, -15 в 200 мА) | |
Габаритные размеры мм | 130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина) | |
Коммуникационный интерфейс | Протокол RS485 MODBUS | |
Источник питания постоянного тока | Мощность | 500 ВТ. |
Выходное напряжение | 0–600 В. | |
Длина синхронизации | 65000 секунды | |
Время начала | 1–10 секунд | |
Измерение толщины пленки | Требования к электропитанию | DC:5V(±10%) Максимальный ток 400 мА |
Резолюции | ±0,03 Гц (5–6 МГц),0.0136Å / Измерение (алюминий) | |
Точность измерения | ±0.5% толщина + 1 отсчет | |
Период измерения | 100 мс~1S/время (можно установить) | |
Диапазон измерения | 500,000 Å (алюминий) | |
Частота кристалла | 6 МГц | |
Коммуникационный интерфейс | Последовательный интерфейс RS-232/485 | |
Отображение цифр | 8-значный светодиодный дисплей | |
Молекулярный насос | Скорость насоса молекулярной системы | 80 Л/С. |
Номинальная частота вращения | 65000 об/мин | |
Значение вибрации | <=0,1 мкм | |
Время начала | <=4,5 мин | |
Время простоя | <7 мин | |
Способ охлаждения | С воздушным охлаждением | |
Температура охлаждающей воды | <=37°C. | |
Расход охлаждающей воды | 1 л/мин | |
Направление установки | По вертикали ±5° | |
Отверстие всасывания | 150CF | |
Соединение выпускного трубопровода | KF40 | |
Насос движения вперед | Скорость насоса | 1,1 Л/С (VRD-4) |
Непревзойденный вакуум | 5×10 Па | |
Источник питания | Переменный ток: 220 в/50 Гц | |
Мощность | 400 ВТ. | |
Шум | <=56 дб | |
Отверстие всасывания | KF40 | |
Соединение выпускного трубопровода | KF25 | |
Клапан сброса давления | На установлен пневматический и электронный клапан сброса давления воздуха вакуумную камеру | |
Максимальное разрежение всей машины | <=5×10 Па | |
Скорость усиления вакуумной камеры | <=2,5 Па/ч. | |
Программное обеспечение | 1 набор программного обеспечения для мониторинга и управления | |
Цель теста | 2 медных мишени диаметром 2 дюймов и. толщина 3 мм |
Примечания:
1. У нас имеется магнетрон-котер с 1 мишенью, 2 мишенями, 3 мишенями, цель может быть спроектирована в верхней или нижней части камеры.
2. Имеется источник питания постоянного тока или радиочастотная мишень
3. Другой целевой материал является дополнительным
4. Прочный магнитный мишень и постоянный магнитный мишень являются дополнительными
5 имеется магнитно-напыленный коатер с источником испарения
6. Всегда доступно индивидуальное обслуживание!
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональными производителями лабораторного оборудования, имея собственную команду проектирования и завод с развитым техническим опытом, и можем гарантировать качество продукции и оптимальную цену.
В. как работает система послепродажного обслуживания вашей компании?
A. Гарантия на изделие составляет 12 месяцев, мы можем обеспечить обслуживание на весь срок эксплуатации. У нас есть профессиональные отделы предпродажной подготовки и послепродажного обслуживания, которые могут ответить вам в течение 24 часов для решения любых технических проблем.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A.1. Если товар есть на складе, то это 5-10 дней. 2. Мы можем предоставлять индивидуальные услуги нашим клиентам. Обычно это занимает 30-60 дней в зависимости от технических характеристик пользовательского прибора.
В. в нашей стране источник питания и вилка отличаются. Как вы его решаете?
О. мы можем обеспечить подачу питания на трансформатор и вилку в соответствии с местными требованиями в соответствии с вилкой питания разных стран.
В. как оплатить?
A.T / T, L / C, D / P и т.д., рекомендуется использовать гарантию Made in China Trade Guarantee.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A.1. Стандартный экспортный знак фумигации деревянная упаковка 2. Экспресс, авиаперевозки, морские перевозки в соответствии с требованиями клиента, найти наиболее подходящий способ.
Дополнительные вопросы, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями