Лаб. Магнетрон, коутер с переходной каютом для сема образцов

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Type: магнетрон
• Coating: Vacuum Coating
• Certification: CE
• Condition: New
• Модель №.: TN-MSH325G-III-DCDCRF-SS
• название продукта: Magnertron Sputter Coater
• метод покрытия: магнетрон
• питание постоянного тока: 500 вт*2
• мощность рч: 500 вт*1
• размер камеры: 325*510mm
• размер подложки: 150 мм
• Substrate Heating: Max. 500c
• целевой размер: 2 Inch*3
• источник питания: 220 в перем. тока
• роторный лопастной насос: 1,1 л/с.
• Turbo-Molecular Pump: 600 л/с.
• материал камеры: ss304
• Транспортная Упаковка: Fumigated Wooden Box
• Характеристики: 600*650*1280mm
• Торговая Марка: TN
• Происхождение: China
• Производственная Мощность: 20 Sets Per Month

Описание Товара

Лаб. Магнетрон, котек с переходным кабином для образца Sem

Описание продукта

МАГНЕТРОН-ШПУТИНГ: ОБЗОР

Спутирование — это процесс осаждения на основе плазмы, при котором энергетические ионы ускоряются в направлении мишени. Ионы ударят цель, и атомы выбрасываются (или измоются) с поверхности. Эти атомы попадают в подложку и встраиваются в растущую пленку.

Особенности магнетронного котера, сшивающейся в воде:

1 Трехцелевая магнитная котерная котерка является экономически эффективным магнитно-напыляющим оборудованием. Он стандартизован, модульен и настраивается.

2. Имеются 1-дюймовые, 2-дюймовые и 3-дюймовые магнетронные мишени. Можно выбрать цель в соответствии с размером подложки, которую необходимо покрыть.

3. Магнетрон-ваттер с напыления оснащен мощностью 500 Вт постоянного тока и мощностью 500 Вт РЧ. Питание постоянного тока используется для кондуктивного материала, а радиочастотная мощность используется для изоляционных материалов.  Мощность от 300 Вт до 1000 Вт в соответствии с вашими требованиями.

4 Магнитерная коuttering оснащена двухканальным высокоточным расходомером массы. Четырехканальные расходомеры массы —
 доступно   

5. Магнетрон-коутер с разбрызгивателем оснащен турбо-молекулярным насосом, а окончательный вакуум до 10E^-5PA, другие типы молекулярных насосов доступны для приобретения.

6. Канал подачи газа молекулярного насоса управляется несколькими электромагнитными клапанами, можно открыть камеру для отбора пробы без
   выключение насоса.

7. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером для управления системой.

Параметры продукта

Технические характеристики магнетронного котера-разлитника:

Рабочее напряжение		220 в перем. Тока, 60 Гц
Разрезающей вакуумной камеры		Размер: ~ φ325xH510mm Материал: Нержавеющая сталь 304 Обработка внутренних стенок: Электролитическая полировка Способ уплотнения: Фторкаучуковый уплотнитель Окно просмотра (окно): ~4'' (100 мм) с затвором
Держатель образца		Центральный нижний держатель образца с одной шторкой Держатель образца: Диаметр 150 мм Частота вращения: 0–20 об/мин Температура нагрева: От RT до 500oC
Магнетронный распылитель		Количество: 3 комплектов Регулируемый угол -45°~45° Направление разбрызгивения вниз Целевой размер: Диаметр 2'', толщина макс
Кварцевый кристаллический монитор		Номера каналов: Одноканальный Погрешность: 0.1Ã Скорость измерения: 100 мс-1S регулируется Диапазон измерений: 500 000Ã (алюминий в качестве эталона) Кварцевый кристалл стандартного датчика: 6 МГц
Вакуумная система	Насос обратной подачи	Двухступенчатый роторно-лопастной насос Скорость подачи: 1,1 л/с.
	Молекулярный насос	Скорость подачи: 600 л/с. Номинальная частота вращения: 27000 об/мин Время запуска: <5 мин Способ охлаждения: Водяное охлаждение Степень вакуума: 5*10^Па
	Композитный вакуумный манометр	Измеритель сопротивления + ионизационный манометр Диапазон измерения: От 10^до 5 Па ~ 105 Па
Источник питания постоянного тока		Количество: 2 комплектов Выходная мощность: 0–500 Вт. Выходное напряжение: 0–600 В. Максимальный выходной ток: 1 А. Время начала: 1–10 с.
Источник питания РЧ		Количество: 1 шт. Выходная мощность: 0–500 Вт. Частота радиосигнала: 13.56 МГц Метод сопоставления: автосопоставление Отраженная мощность: <=100 Вт. Стабильность мощности: ±0.1%
Контроллер массового расхода		Одноканальный MFC для газа AR Диапазон измерения: От 0 до 200 см.
Охладитель воды		Расход: 10 л/мин Мощность: 0,1 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/°C. Емкость бака: 9 л.
Управление		Автоматическое управление ПЛК
Переходная камера		Размер камеры будет составлять не более 4-дюймовые пластины. Оснащен одной компактной молекулярной насосной группой Насос-основа: VRD-4, скорость насоса: 1,1 л/с. Модель молекулярного насоса: TG60F Скорость насоса молекулярной системы: 60 л/с.

 

Подробные фотографии

1. У НАС имеется магнетрон-котер с 1 мишенью, 2 мишенями, 3 мишенями, 4 тагрстом и т.д. цель может быть спроектирована в верхней или нижней части камеры.
2. Возможна подача питания постоянного тока или РЧ-излучения мощностью 0–1000 Вт. Функция смещения является дополнительной.
3. Целевой размер: 1, 2, 3, 4 и т. д.
4. Сильная магнитная мишень и пернананентная магнеетическая мишень являются необязательными.
5. Магнетрон, натеряющийся в коater с испарением, доступен E-пучок .
6. Всегда доступно индивидуальное обслуживание!

Профиль компании

Упаковка и доставка

МЫ можем отправить магнетрон, который произраляет коater, по суше, по морю, по воздуху, экспресс, также можем организовать упаковку и поставку в соответствии с вашими требованиями.

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ

В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.  

В. как вы можете получить гарантию?
A.  Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.

В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.

В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.

В. как оплатить?
A.  T T, L / C, D / P И Т. Д.

В. как упаковать товары? Способы доставки?
A.  Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
 

Свяжитесь с нами

МАГНЕТРОН ПРАВИЛЬНО ОБРАБАТЫВАЕТ ВАШИ РАБОТЫ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать в рамках вашего проекта.

Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.