Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Высоковакуумная трехцелевая система магнетрона с массовым потоком измеритель для нанесения пленки
МАГНЕТРОН-ШПУТИНГ: ОБЗОР
Спутирование — это процесс осаждения на основе плазмы, при котором энергетические ионы ускоряются в направлении мишени. Ионы ударят цель, и атомы выбрасываются (или измоются) с поверхности. Эти атомы попадают в подложку и встраиваются в растущую пленку.
Особенности магнетронного котера, сшивающейся в воде:
1 Трехцелевая магнитная котерная котерка является экономически эффективным магнитно-напыляющим оборудованием. Он стандартизован, модульен и настраивается.
2. Имеются 1-дюймовые, 2-дюймовые и 3-дюймовые магнетронные мишени. Можно выбрать цель в соответствии с размером подложки, которую необходимо покрыть.
3. Магнетрон-ваттер с напыления оснащен мощностью 500 Вт постоянного тока и мощностью 500 Вт РЧ. Питание постоянного тока используется для кондуктивного материала, а радиочастотная мощность используется для изоляционных материалов. Мощность от 300 Вт до 1000 Вт в соответствии с вашими требованиями.
4 Магнитерная коuttering оснащена двухканальным высокоточным расходомером массы. Четырехканальные расходомеры массы —
доступно
5. Магнетрон-коутер с разбрызгивателем оснащен турбо-молекулярным насосом, а окончательный вакуум до 10E-5PA, другие типы молекулярных насосов доступны для приобретения.
6. Канал подачи газа молекулярного насоса управляется несколькими электромагнитными клапанами, можно открыть камеру для отбора пробы без
выключение насоса.
7. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером для управления системой.
Технические характеристики магнетронного котера-разлитника:
| Платформа для образца | Размер | Диаметр 140 мм |
| Температура нагрева | Макс. 500°C. | |
| Точность измерения температуры | ±1°C. | |
| Частота вращения | 1 об/мин с регулировкой | |
| Головка для напыления магнетрона | Количество | 2"×3 (1",2" дополнительно) |
| Режим охлаждения | Водяное охлаждение | |
| Водоохладитель | Циркулирующий водоохладитель со скоростью потока 10 л/мин | |
| Вакуумная камера | Размер камеры | Диаметр 300 мм×300 мм |
| Материал камеры | Нержавеющая сталь | |
| Окно просмотра | Диаметр 100 мм | |
| Режим открытия | Верхняя крышка открыта | |
| Массовый расходомер | 2 канала; диапазон измерений 100SCCM; 100SCCM (может быть настроен в соответствии с потребностями клиента) | |
| Вакуумная система | Модель | TN-GZK103-A |
| Молекулярный насос | CY-600 | |
| Насос подачи топлива | Роторный лопастной насос | |
| Непревзойденный вакуум | 1,0E-5PA | |
| Интерфейс насоса | CF160 | |
| Интерфейс системы выпуска отработавших газов | KF40 | |
| Измерение вакуума | Составной вакуумный манометр | |
| Источник питания | 50 в перем. Тока, 50/60 Гц | |
| Скорость насоса | Молекулярный насос: Роторный лопастной насос 600 л/с: 1,1 л./с. Комплексная производительность при перекачке газа: Вакуумирование до 1,0E-3PA за 20 минут |
|
| Конфигурация питания | Количество | Источник питания постоянного тока x2 Источник питания RF x1 |
| Максимальная выходная мощность | 500 ВТ ПОСТ. ТОКА, 500 ВТ РЧ | |
| Другие параметры | Напряжение питания | 220 в, 50 Гц |
| Полная мощность | 4 КВТ | |
| Общий размер | 600 мм×650 мм×1280 мм | |
| Общий вес | Около 300 кг | |
1. У НАС имеется магнетрон-котер с 1 мишенью, 2 мишенями, 3 мишенями, 4 тагрстом и т.д. цель может быть спроектирована в верхней или нижней части камеры.
2. Возможна подача питания постоянного тока или РЧ-излучения мощностью 0–1000 Вт. Функция смещения является дополнительной.
3. Целевой размер: 1, 2, 3, 4 и т. д.
4. Сильная магнитная мишень и пернананентная магнеетическая мишень являются необязательными.
5. Магнетрон, натеряющийся в коater с испарением, доступен E-пучок .
6. Всегда доступно индивидуальное обслуживание!
Мы можем отправить магнитронную систему разбрызгивения по суше, по морю, по воздуху, экспресс, также можем организовать упаковку и поставку в соответствии с Вашими требованиями.
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
МАГНЕТРОН ПРАВИЛЬНО ОБРАБАТЫВАЕТ ВАШИ РАБОТЫ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать в рамках вашего проекта.
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик 
