Послепродажное обслуживание: | онлайн-сервис |
---|---|
Гарантия: | один год |
Тип: | магнетрон |
Покрытие: | Вакуумное Покрытие |
Подложка: | Сталь |
Сертификация: | CE |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
4-дюймовый травочный наматрасник Magnetron, прямой напыление никелем Виниловый мастеринг
МАГНЕТРОН-ШПУТИНГ: ОБЗОР
Спутирование — это процесс осаждения на основе плазмы, при котором энергетические ионы ускоряются в направлении мишени. Ионы ударят цель, и атомы выбрасываются (или измоются) с поверхности. Эти атомы попадают в подложку и встраиваются в растущую пленку.
Оборудование для нанесения разлитого напыления магнетрона постоянного тока с одной целью является экономичным оборудованием для нанесения напыления магнетрона, которое было разработано и исследовано нашей компанией. Он обладает характеристиками стандартизации, модуляризации и настройки. Мишени магнетрона могут быть выбраны в диапазоне от 1 дюймов, 2 дюймов и 3 дюймов, и заказчики могут выбирать в соответствии с размером плакированной подложки; блок питания представляет собой источник питания постоянного тока мощностью 1500 Вт, который может использоваться для высокоэнергетического покрытия на основе металлических плакированных пламенов. В соответствии с экспериментальными требованиями для нанесения покрытия на различные материалы могут быть выбраны источники питания постоянного или радиочастотного тока других спецификаций.
Технические характеристики магнетрона -sputter coater:
Одноцелевое устройство для нанесения магнетрона постоянного тока |
||
Образец Таблица |
Габаритные размеры |
φ 360 мм |
Регулируемая частота вращения |
1 об/мин с регулировкой |
|
Цель |
Целевая плоскость |
Цель круговой плоскости |
Разрежение |
От 0,1 Па до 3 Па |
|
Диаметр мишени |
100–106 мм |
|
Толщина мишени |
3 мм |
|
Напряжение изоляции |
>2000 В. |
|
Характеристики кабеля |
SL-16 |
Целевая температура головки |
<= 65°C. |
|
Вакуум Камеры |
Обработка внутренних стенок |
Электролитическая полировка |
Размер полости |
Φ500mm x 500 мм |
|
Материал полости |
304 нержавеющая сталь |
|
Окно просмотра |
Кварцевое окно, диаметр φ100mm |
|
Способ открытия |
Боковое отверстие |
|
Газ Управление |
Управление расходом |
Массовый расходомер, диапазон измерения 0 ~ 100SCCM |
Тип газа |
Доступны аргон, азот, кислород и другие газы |
|
Типы клапанов регулятора |
Электромагнитный регулятор |
|
Статическое состояние клапана регулятора |
Нормальное закрытие |
|
Линейность измерения |
Плюс или минус 1.5% F.S |
|
Точность повторения измерений |
Плюс или минус 0.2% F.S |
|
Измерьте время отклика |
≤8 с (T95) |
|
Рабочее давление |
0.3 МПа |
|
Корпус, устойчивый к давлению |
3 МПа |
|
Рабочая температура окружающей среды |
(5–45) °C. |
|
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь 316L |
|
Скорость утечки в корпусе |
1×10 Па.м3/с. |
|
Фитинги труб |
1/4 "соединения с "рубашкой" |
|
Входные/выходные сигналы |
0 - 5 В. |
|
Источник питания |
±15 в (±5%) (+15 в 50 мА, -15 в 200 мА) |
|
Габаритные размеры мм |
130 (Ш) x 102 (в) x 28 (в) |
|
Коммуникационный интерфейс |
Протокол RS485 MODBUS |
|
Источник питания постоянного тока |
Источник питания |
1500 ВТ. |
Фильм Толщина Измерение |
Требования к электропитанию |
Постоянный ток: 5 в (±10%) максимальный ток 400 мА |
Резолюции |
±0,03 Гц (5–6 МГц), 0,0136A/измерение (алюминий) |
|
Точность измерения |
±0.5% толщина +1 отсчет |
|
Цикл измерения |
100 мс ~ 1S/ время (можно установить) |
|
Диапазон измерения |
500,000 А (алюминий) |
|
Частота кристалла |
6 МГц |
|
Коммуникационный интерфейс |
Последовательный интерфейс RS-232/485 |
|
Отображение битов |
8-разрядный светодиодный дисплей |
|
Молекулярная Насос |
Скорость молекулярной перекачки |
1200 Л/С. |
Номинальная частота вращения |
24000 об/мин |
|
Значение вибрации |
<= 0.1 мкм |
|
Время запуска |
5 мин |
|
Время простоя |
7 мин |
|
Способ охлаждения |
Охлаждение водой + воздушное охлаждение |
|
Температура охлаждающей воды |
<=37°C. |
|
Расход охлаждающей воды |
1 л/мин |
|
Направление установки |
По вертикали ±5. |
|
Интерфейс для удаления воздуха |
150CF |
|
Выпускное отверстие |
KF40 |
|
Спереди Насос |
Скорость насоса |
VRD-16 |
Непревзойденный вакуум |
1 Па |
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 в/50 Гц |
|
Мощность двигателя |
400 ВТ. |
|
Шум |
<=56 дб |
|
Интерфейс для удаления воздуха |
KF40 |
|
Выпускное отверстие |
KF25 |
|
Клапан |
Запорный клапан |
Между вакуумом расположен запорный клапан камера и молекулярный насос |
Отсечной клапан |
Между установлен отсечной клапан молекулярный насос и передняя ступень |
|
Боковой сливной клапан |
Боковой сливной клапан установлен между вакуумная камера и передняя ступень |
|
Выпускной клапан |
Установлен электромагнитный выпускной клапан на вакуумной камере |
|
Максимальное разрежение всей машины |
<=5X10–4 Па |
1. У НАС имеется магнетрон-котер с 1 мишенью, 2 мишенями, 3 мишенями и т.д., цель может быть спроектирована в верхней или нижней части камеры.
2. Возможна подача питания постоянного тока или РЧ-излучения мощностью 0–1000 Вт. Функция смещения является дополнительной
3. Целевой размер: 1, 2, 3, 4 и т. д.
4. Сильная магнитная мишень и пернананентная магнеетическая мишень являются необязательными
5.имеется магнитно-напыленный коater с испарением, e-Beam
6. Всегда доступно индивидуальное обслуживание!
МЫ можем отправить магнетрон, который произраляет коater, по суше, по морю, по воздуху, экспресс, также можем организовать упаковку и поставку в соответствии с вашими требованиями.
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
МАГНЕТРОН ПРАВИЛЬНО ОБРАБАТЫВАЕТ ВАШИ РАБОТЫ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать в рамках вашего проекта.
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями