Модель | ET-EVAP400C-1 |
Ref. Снимки | |
Главный вакуумную камеру | Камера из нержавеющей стали 304 прямоугольник, размер: 400 мм×400 мм×450 мм. Передняя дверца полностью автоматический контроль (интегрирован с вещевым ящиком), снаружи двери крепится на петлях типа для обслуживания. Обе двери поставляются с замечанием. Камера имеет толщину пленки и освещения щитка приборов и другого оборудования. |
Вакуумная система | Плунжерная пара в турбо-молекулярного насоса (помпаж скорости 1200L/S) + совместное предприятие прямое соединение ротационный лопастной насос (помпаж скорость 9L/S), высокого вакуума Электро-пневматические клапаны, полностью автоматического управления |
В конечном итоге вакуум | ≤6×10-5Pa |
Качать скорости | Плунжерная пара из воздуха до 9×10-4Pa≤30мин(короткое время экспозиции в воздухе, кормление сухим азотом, а затем запуск двигателя разрежение) |
Основы системы | Размер выборки | Выдвижной ящик тип кузова, до менее чем 120 x 120мм образцов, оснащенных Японии SMC пневматического подложке воздушная заслонка, электрическую тягу полностью автоматическое управление |
Режим движения | • Подложке таблица принимает магнитных жидкостей уплотнение, которые могут быть отменены и отменены, и расстояние между источником и подложку можно отрегулировать непрерывно 200~300мм.; • Подложке таблица может вращаться постоянно, и скорость вращения 0~30 • Выше обработки полностью автоматическое управление |
Реле погружных подогревателей | Температура в помещении ~300ºC, Япония SHIMADEN PID разведывательной системы регулирования температуры |
Теплового источника | Металлические тепловой Источник | 2 Единицы, системы охлаждения воды pure Купер электроды+ тепловой лодки |
Органических теплового источника | Петь PID температура органического источника света, печи в горниле больше 2CC, комнатной температуры ~ 300 ºC, непрерывно регулируемый |
Тепловой энергии | Металлические тепловой энергии | Ток 300 A, максимальная выходная мощность 3 Квт(преобразования для двух наборов переменный испарения) |
Органических теплового источника | PID интеллектуальный блок питания для испарения с контролируемой температурой (точность регулирования температуры±1°C) |
Толщина покрытия системы управления | Кварцевые на пленку толщиной контроллер, контроля толщины диапазон отображения: 0-99μ9999Å |
Система водяного охлаждения | Оборудован циркуляции воды для охлаждения машины, пользователю необходимо только предоставить на сайте |
Сигнал тревоги и защиты системы | Идеальный логика блокировки программы и системы защиты ТНВД, электродов и других нехватка воды, по сравнению с нынешним слишком высокого напряжения, присутствует разрыв цепи и другой ненормальный сигнал тревоги и осуществления соответствующих мер защиты |
Толщина покрытия неравномерности | Φ100мм≤±5,0% |
Вещевой ящик системы | Вещевой ящик камеры | Камера размер: 1500×750×900 мм Главный antechamber: • 390×600 мм,мини-камеры: ¢150×300 мм Высота подставки: 950мм |
Система очистки газа | Попадание влаги и кислорода <1 миллион Единая система очистки рулевой колонки Растворитель для очистки системы GE нас марки влаги и анализатор кислорода |
Режим управления | PLC+ПК полностью автоматический контроль |