заявка: | Wafer /Sapphire Polishing |
---|---|
материал: | 99.7% Alumina |
Тип: | Ceramic Disc |
Транспортная Упаковка: | Carton and Wooden Case. |
Характеристики: | D180, 360, 450, 600mm customized size |
Торговая Марка: | Chemshun Ceamics |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
99.7%Al2O3 Выпускная основа как материал высокой чистоты и новый материал большого размера, он обладает превосходными физическими свойствами и стабильными химическими характеристиками, хорошая цена по сравнению с другими материалами. Глинозем высокой чистоты всегда продолжает развивать ведущие мировые исследования и передовые керамические и мелкокерамические заводы. Farcera 99.7%Alumina Серия керамики в основном используется в полупроводящей промышленности как шлифовальная панель процесса CMP, большой размер длинноглинозема керамическая подложка используется в ЖК промышленности и литография как керамическая панель.
Здесь мы представляем химшуньную высокочистоту 99.7% алюминиевой пластины / сапфировой полировальной пластины, используемой в процессе CMP в полупроводящей промышленности.
Применение:
Как полировальные и сапфировые лафровые диски из керамической пластины из алюминия, используемые в полупроводящих, алмазных полировальных и т. д.
Процесс: Все типы полировки и притирки, такие как химическая механическая полировка CMP, механическая полировка, прецизионная полировка.
Функция:
Высокая чистота и химическая долговечность
Высокая механическая прочность и твердость
Высокая коррозионная стойкость
Высокое сопротивление
Высокая термостойкость до 1700°C.
Высокая износостойкость
Превосходная изоляция
Все типы размеров 180,360, 450, 600 мм и т.д.
Название продукта | 99.7 керамических полировальный диск высокой чистоты из алюминия |
Материалов | 99.7% глинозем |
Обычный размер | D180, 360, 450, 600 мм, допускается пользовательский размер. |
Цвет | Слоновая кость |
Приложение | Производство полупроводниковых пластин и сапфировых пластин CMP в полупроводниковой промышленности |
Мин. Порядок | 1Пик |
Единицы измерения | 99.7 Alumina Ceramics | ||
Общие свойства | Содержание Al2O3 | вес % | 99.7-99.9 |
Плотность | гм/куб | 3.94-3.97 | |
Цвет | - | Слоновая кость | |
Поглощение воды | % | 0 | |
Механические свойства | Прочность при сгибании (MOR) 20 °C. | MPa(psix10^3) | 440-550 |
Модуль упругости 20°C. | GPA (стр. шести10^6) | 375 | |
Твердость по Виккерсу | GPA(кг/мм2) R45N | >=17 | |
Прочность на изгиб | GPA | 390 | |
Прочность на растяжение 25°C. | МПа(psi10^3) | 248 | |
Прочность на разрыв (K i c) | МПа* м^1/2 | 4-5 | |
Тепловые свойства | Теплопроводность (20°C) | С мк | 30 |
Коэффициент теплового расширения (25–1000°C) | 1x 10^-6/C. | 7.6 | |
Термостойкость к удару | °C | 200 | |
Максимальная рабочая температура | °C | 1700 | |
Электрические свойства | Диэлектрическая прочность (1 МГц) | ac-kv/mm (перем. ток в/мил) | 8.7 |
Диэлектрическая постоянная (1 МГц) | 25°C. | 9.7 | |
Volume Resisivity (Объемная удительность | Ом-см (25°C) | >10^14 | |
Ом-см (500°C) | 2x10^12 | ||
Ом-см (1000°C) | 2x10^7 |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями