Применение: | кремний, печатная плата, эмс, керамика, стекло, литий-ниобат |
---|---|
Тип: | Фиксированный |
Источник питания: | серводвигатель+шаговый двигатель |
Индивидуальные: | Индивидуальные |
Состояние: | Новый |
размер заготовки: | φ6’’ ≤160 мм x 160 мм |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Технические характеристики |
||
Конфигурации и производительности | Размер заготовки | Φ6'' | ≤160 мм x 160 мм |
Глубина паза | ≤4мм или настроить | |
Таблица плоскостность | ±0.005мм/100мм | |
Система выравнивания | 70x прямой свет + кольцо(210x дополнительно) | |
Шпиндель | Революции диапазона частоты вращения коленчатого вала | 3000~40000 об/мин |
Выходная мощность | 1,25 квт | |
По оси X | Режим движения | Электродвигатель привода вакуумного усилителя тормозов |
Макс. ход | 240мм | |
Цикл резолюции | 0,001 мм | |
Диапазон скорости подачи | 0.1~400мм/s | |
По оси Y | Режим движения | Шаговый электродвигатель + решетка системы управления с обратной связью |
Макс. ход | 170мм | |
Цикл резолюции | 0.0005мм | |
Один шаг точность позиционирования | ≤0.003мм/5 мм | |
Индекс точность позиционирования | ≤0.005мм/170мм | |
По оси Z | Режим движения | Шаговый электродвигатель |
Макс. ход | 30мм | |
Цикл резолюции | 0,001 мм | |
Воспроизводимость точность | 0.002мм | |
Θ оси | Режим движения | Электродвигатель привода вакуумного усилителя тормозов |
Макс. угол поворота | 360° | |
Резолюции угла поворота | 0,0005° | |
Основные характеристики | Источник питания | Одна фаза, AC220V±10% |
Потребляемая мощность | 0.8KW (обработка) | |
0.7KW (ПРОГРЕВ) | ||
Сжатый воздух | Давление: 0.55~0.8Мпа; средний расход: 350 л/мин. | |
Очистка воды | Давление: 0.2~0.4Мпа; расход: 3,0 л/мин | |
Система охлаждения воды | Давление: 0.2~0.4Мпа; расход: 1,5 л/мин | |
Скорость воздуха | 2м3/мин (ANR) | |
Габаритные размеры W×D № H | 665K. мм×850 мм×1650 мм | |
Вес | 500 кг |
Условия окружающей среды |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями