Применение: | кремний, арсенид галлия, керамика, стекло, глинозем |
---|---|
Тип: | Фиксированный |
Источник питания: | серводвигатель+шаговый двигатель |
Состояние: | Новый |
размер заготовки: | φ6’’ ≤160 мм x 160 мм |
глубина канавки: | ≤4 мм |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
|
|||
Конфигурации и производительности | Размер заготовки | Φ6" | ≤160 мм x 160 мм | |
Глубина паза | ≤4мм | ||
Таблица плоскостность | ±0.005мм/150мм | ||
Система выравнивания | 70x прямой свет + кольцо(210x дополнительно) | ||
Шпиндель | Революции диапазона частоты вращения коленчатого вала | 3000~40000 об/мин | |
Выходная мощность | 1,5 Квт | ||
По оси X | Режим движения | Электродвигатель привода вакуумного усилителя тормозов | |
Макс. ход | 240мм | ||
Цикл резолюции | 0,001 мм | ||
Скорость подачи выше допустимых пределов | 0.1~400мм/s | ||
По оси Y | Режим движения | Шаговый электродвигатель + решетку в замкнутой системе управления | |
Макс. ход | 170мм | ||
Цикл резолюции | 0.0005мм | ||
Один шаг точность позиционирования | ≤0.003мм/5 мм | ||
Индекс точность позиционирования | ≤0.005мм/170мм | ||
По оси Z | Режим движения | Шаговый электродвигатель | |
Макс. ход | 30мм | ||
Шкала резолюции | 0,001 мм | ||
Воспроизводимость точность | 0.002мм | ||
Θ оси | Режим движения | Двигатель DD | |
Макс. угол поворота | 380° | ||
Резолюции угла поворота | 0,0002° | ||
Основные характеристики | Источник питания | Одна фаза, AC220V±10% | |
Потребляемая мощность | 0.8KW (обработка) | ||
0.7KW (ПРОГРЕВ) | |||
Сжатый воздух | Давление: 0.55~0.8Мпа; средний расход: 350 л/мин. | ||
Очистка воды | Давление: 0.2~0.4Мпа; расход: 3,0 л/мин | ||
Система охлаждения воды | Давление: 0.2~0.4Мпа; расход: 1,5 л/мин | ||
Система выпуска отработавших газов скорость воздуха | 2м3/мин (ANR) | ||
Габаритные размеры W×D № H | 665K. мм×850 мм×1650 мм | ||
Вес | 500 кг |
Условия окружающей среды |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями