БОРТНАЯ система 320FX Cryopump, разработанная специально для решения задач современных процессов ионизации, обеспечивает повышенную скорость и производительность насоса на водороде, сохраняя при этом все преимущества качества, производительности и надежности, которые вы получили от бортовой системы®, — ЭТО 320FE cryopump.
БОРТАПЕНЬ 320FX предназначен для обеспечения максимальной скорости и мощности вакуумного насоса водорода, что позволяет повысить урожайность и производительность инструмента. Этот криогенный насос, который, опираясь на обширный опыт компании Edwards в области проектирования, превосходит все другие насосы сравнимой производительности, обеспечивая при этом соблюдение строгих правил техники безопасности.
Интеллектуальные системы управления обеспечивают лучшее качество процесса, стабильность вакуума и бесперебойную работу, а также предоставляют знания о системе в режиме реального времени для оптимизации частоты вращения двигателя и криогенной температуры. Автоматическая регулировка для изменения условий тепловой/газовой нагрузки улучшает вакуумную стабильность и сокращает время восстановления между пластинами. КРОМЕ того, в модели 320FX используется покрытие, связанное с процессом, которое не снижает надежность и производительность.
Система On-Board® IS обеспечивает полное использование гелиевых ресурсов системного уровня для любых условий эксплуатации. Запатентованная система управления непрерывно регулирует распределение гелия на насос, увеличивая соотношение между насосом и компрессором для снижения стоимости владения. Кроме того, БОРТАПОВЫЕ СИСТЕМЫ СНИЖАЮТ потребление электроэнергии и охлаждающей воды.
Наша современная криогенная конструкция с увеличенной емкостью обеспечивает более длительное время работы между регенерациями и снижает воздействие остаточных ионов имплантов для увеличения срока службы насоса. Система управления мощностью IntelliPurge снижает вероятность неожиданной регенерации насоса из-за кратковременного сбоя электропитания и обеспечивает безопасность при продолжном отключении электропитания. Собственные последовательности регенерации сокращают время регенерации и обеспечивают соответствие производительности насоса после регенерации.
Встроенная блокировка измерительных приборов и запорных клапанов TC устраняет необходимость в дополнительных контроллерах, а встроенные грубые, продувочные, вентиляционные клапаны и органы управления упрощают установку и повышают надежность системы
| Модель с использованием Cryopump |
250 ФАРЕНГЕЙТА |
400 |
| Водяной пар |
6500 |
17500 |
| Водород (5x10-6торр) |
16 |
42 |
| Первый и второй этапы |
<3.3 ч |
3 ч |
| Второй этап |
<1.5 ч |
<1.5 ч |
| Мощность |
200/230 В ПЕРЕМ. ТОКА, 50/60 ГЦ 1Ø, (5 А) |
200/230 В ПЕРЕМ. ТОКА, 50/60 ГЦ 1Ø, (5 А) |
Описание продукта
Встроенные органы управления установленный на насосе, сменный в полевых условиях модуль привода двигателя Электроника интерфейс связи главного устройства (RS-232C, разъем DB-9) Управление температурой на первом этапе Управление гелием Сервис коммуникационный порт Удаленный дисплей опция Управление клапанами
Сертифицированный Поставщик 
