Имплантация полупроводниковых ионных компонентов и детали из графитового плазма с Etching

• Type: Graphite Parts
• Composition: C
• Carbon Content: 99.9995
• Grade: Customization
• Forming Way: Isostatic Graphite
• Crystal Morphology: Artificial Graphite
• Транспортная Упаковка: Wooden Case
• Торговая Марка: SIAMC
• Происхождение: China
• Код ТН ВЭД: 681519

Описание Товара

Графитовые изделия SIAMC широко используются в ионно-имплантационной и плазменной травлении благодаря своей превосходной теплостойкости, теплопроводности, низкому содержанию примесей и устойчивости к коррозии ионными пучками.
При ионной имплантации в полетных трубах используется графит высокой чистоты, различные щели, электроды, чехлы электродов, кабелепроводы, и оконечные устройства пучка. Эти компоненты должны быть устойчивы к коррозии, вызванной ионными балками.
При травлении плазмы компоненты плазменной реакционной камеры подвергаются воздействию травлёного газа, что может вызвать загрязнение и коррозию. Однако графит устойчив к коррозии в экстремальных условиях, таких как ионные бомбардировки или плазменная резка, что делает его идеальным материалом для компонентов оборудования для плазменной травления, таких как графитовые электроды.
Высококачественные графитовые изделия SIAMC обеспечивают превосходную производительность и надежность ионного имплантационного оборудования и оборудования для плазменной травления, гарантируя качество и эффективность обработки полупроводников.