Современная настольная магнитронная распыляющая система с технологией одного катода

• Индивидуализация: Доступный
• Послепродажное обслуживание: онлайн-сервис
• Гарантия: один год
• Модель №.: Made-to-order
• Тип: Линия Нанесения Покрытий
• Покрытие: Вакуумное Покрытие
• Подложка: Сталь
• Сертификация: CE
• Состояние: Новый
• платформа для образца: диам. 100 мм
• температура нагрева: макс. 500°c.
• скорость вращения: 1-30rpm Adjustable
• материал камеры: кварц высокой чистоты
• Транспортная Упаковка: деревянный ящик
• Характеристики: индивидуальный
• Торговая Марка: rj
• Происхождение: Zhengzhou, China

Описание Товара

Для настольных ПК отличается неравномерностью магнетрона Dual-Target системы
(Модульная система для расширенного Thin-Film Co-Sputtering осаждения азота)

 

Основные характеристики

Компонент	Параметры
Образец этапе	- Диаметр: 100-150мм - Система отопления: ≤500 °C (±1°C) - Вращение: 1-20 об/мин регулируемый
Магнетрон целевых показателей	- Количество: 2 × 2 дюймов - Система охлаждения двигателя: с водяным охлаждением (10 л/мин расход)
Вакуумную камеру	- Размеры: Φ INA219мм × 280 мм (из нержавеющей стали) - Поле обзора: φ40мм кварцевого стекла - Загрузка: передней и верхней части - конструкция с  поворотного затвора для коммутации
Источник питания	- DC + RF: 1×300 Вт (макс.), ≤600 V, <время отклика 5 мс
Система охлаждения	- Емкость для воды: 9 л, 10л/мин расход
Толщина монитора	- Точность: 0.1Å (дополнительно, с водяным охлаждением)
Вакуумный насос	- Основной: ротационный лопастной насос (1.1L/s) - Среднее образование: Turbo молекулярного насоса (60 л/с, импорт-grade) - Порты: KF40 (вход), KF16 (выход)
Генеральной	- Мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц, 4.5kW общее

 

Функции

1. Multi-Layer осаждения азота
   • Двойной цели co-отличается неравномерностью с помощью механического затвора для последовательного/импульсный осаждения.
   • Обогрев вращение ступени обеспечивает однородность пленки (например, для легкосплавных дисков/азота стеков).
2. High-Vacuum производительность
   • Камера из нержавеющей стали (базовая давление <10⁵ Pa с насосом).
   • Компактный импорт класса turbo насоса позволяет свести к минимуму воздействие на окружающую среду при сохранении 60L/s.
3. Контроль процесса
   • Дополнительный  контроль толщины в режиме реального времени (0.1Å резолюции).
   • Фронтальная загрузка дизайн с кварцевого стекла для наблюдения на местах.

 

Приложения

• Электроника: токопроводящий/металлических пленок (например, AU, Al, Cu).
• Оптика: Противоотражающий/IR.
• Научные исследования: многоуровневый SEM образцов, керамические тонких пленок (с РЧ мощности).

 

Технические ноты

• Насос не включен - совместимость с импортированных turbo молекулярной насосов (например, Пфайфер HiPace 80).
• Модернизации: добавить в режиме импульсной постоянного тока или дополнительных радиочастотных по реактивной мощности.

 

Почему следует выбрать эту систему?
 Надежное компактное: дизайн настольного (оптимизированные для лабораторных работ с ограниченным пространством).
 Гибкая осаждения: Переключатель задач, не нарушая вакуум.
 Industrial-Grade точность: ±1°C контроль температуры, fast-насоса вниз.
Для конфигураций для изготовителей оборудования (например, 4-целевых систем), свяжитесь с инженерами.

 

*Примечание: Все характеристики в соответствии со стандартом ISO 9001. Пользовательские коллекторов газа (например, 4-канальный MFC) предоставляются по запросу.