Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Применение:
Вольфрамовые мишени высокой чистоты, вольфрамовые мишени высокой чистоты из титанового сплава и вольфрамово-кремниевые композитные мишени обычно применяются при напыление магнетрона для производства различных сложных и высокопроизводительных тонких пленочных материалов. Поскольку вольфрам высокой чистоты или сверхчистый вольфрам (5 Н или 6 Н) обладает высокой устойчивостью к электрон-миграции, высокой температурной стабильностью и способностью формировать стабильные силициды, он часто используется в качестве тонкой пленки в электронике как ворота, соединения, перехода и барьерный металл. Вольфрам сверхвысокой чистоты и силициды также используются в сверхкрупных интегральных схемах как слои сопротивления, диффузионные барьеры и т. д., а также в качестве материалов литника и соединительных материалов в полупроводниковых транзисторах с оксидом металла. Мишени для напыления вольфрамово-титанового сплава часто используются для создания переходных металлических слоев тонкопленочных солнечных элементов.
Технические характеристики:
|
Имя |
Молекулярная формула | Технические характеристики |
Размер |
Относительная плотность | Размер зерна | Частота дефектов | |
| Вольфрамовый мишень |
W |
4 Н(99.99%) |
Дюйм |
мм |
≥99% |
≯50 мкм |
0 |
|
5 Н(99.999%) |
D(2,3,4,6,8,10,12) H(0.25,0.5,0.75) |
Диаметр 50~350 Толщина 6~25 |
|||||
| Вольфрамовая титановая мишень |
WTi10 WTi20 |
4 Н(99.99%) |
≥99% |
≯50 мкм |
0 |
||
|
4N5 (99.995%) |
|||||||
Химический компонент
|
Класс спецификации Химический индекс |
W/(W+Ti)≥99.99% |
W/(W+Ti)≥99.995% |
W≥99.999% |
|||||||||
| Полное загрязнение следами |
≯100 ppm |
≯50 ppm |
≯10 ppm |
|||||||||
|
Индекс примесей (ppm) |
Макс |
Стандартное значение | Макс | Стандартное значение | Макс | Стандартное значение | ||||||
|
Радиоактивные элементы |
U |
- |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
0.0008 |
0.0005 |
|||||
|
Я |
- |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
0.0008 |
0.0005 |
||||||
|
Элементы из щелочного металла |
Ли |
1 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
|||||
|
Нет |
5 |
1 |
0.5 |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
||||||
|
K |
5 |
1 |
0.1 |
0.05 |
0.05 |
0.03 |
||||||
|
MO,Re |
10 |
5 |
10 |
5 |
1 |
0.5 |
||||||
|
FE,Cr |
10 |
5 |
5 |
3 |
0.5 |
0.3 |
||||||
|
CA,Si,Cu,Ni,Al,Zn,SN,MN,Co,Hg,V |
2 |
1 |
0.5 |
0.3 |
0.2 |
0.2 |
||||||
|
P,AS,SE |
2 |
1 |
0.5 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
||||||
|
B,Pb,SB,Be,Ba,Bi,CD,GE,NB,Pt,Mg,ZR,Au,in,GA,AG |
1 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
||||||
| Все другие отдельные элементы |
1 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
||||||
|
Анализ газа (≯, ppm) |
О |
C |
N |
H |
С. |
|||||||
|
30 |
20 |
20 |
20 |
10 |
||||||||
В зависимости от назначения, существуют различные требования к содержанию примесей вольфрамовых мишеней высокой чистоты и вольфрамово-титановых мишеней. Как правило, химическая чистота должна быть в пределах от 99.99% до 99.999%. Мы также можем настроить другие спецификации, подходящие для применения в соответствии с требованиями пользователя.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
