Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Мы можем производить медные мишени различной чистоты и требований с чистотой 99.9%~99.9999%. Содержание кислорода может быть ниже 1 промилле. В основном используется для монтажа экранов и сенсорных экранов, а также для защитной пленки, поглощающего солнечный свет слоя, полупроводниковой проводки и т.д. Помимо удовлетворения потребностей клиентов в плоских целевых показателях (самого большого поколения G8.5), мы также можем производить медные вращающиеся цели, которые в основном используются в производстве сенсорных экранов. Хрустальные зерна высокочистой медной мишени трудно разбить. Мы можем контролировать рост кристалла только за счет сверхбольшой обработки деформации для получения тонкой и однородной микроструктуры, чтобы гарантировать, что покрытие разбрызгивется в более низкую скорость эрозии и уменьшить чувствительность к образованию частиц при разбрызгивке. На следующем рисунке показаны два типичных микроскопических металлических изображения объектов, на которых видны частицы меди, со средним размером частиц <50 мкм.
Применение:
Примеси в медной мишени для вымывки снижают проводимость материала, а примесные элементы являются основным фактором, влияющим на выход в производстве полупроводниковых пленок. Особенно важны примеси в виде титана, фосфора, кальция, железа, хрома и селена. Эти металлы очень низки в наших медных мишеней, а их содержание примесей значительно ниже стандартной ценности, требуемой клиентами. В следующей таблице приведен сертификат анализа состава для цели 4N с высоким уровнем чистоты и чистоты меди.
Используются следующие методы анализа:
1. Использовать GDMS или ICP-OES для анализа металлических элементов;
2. Используйте LECO для анализа газовых элементов.
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
