CAS No.: | 75-73-0 |
---|---|
Formula: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Industrial Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Применение SF4:
тетрафторид углерода является крупнейшим в настоящее время в отрасли микроэлектроники газом для плазменного травления. Это смесь газа высокой чистоты и кислорода высокой чистоты из тетрафторида углерода. Он может широко использоваться в травлении кремния, диоксида кремния, нитрида кремния, фосфорного кремниевого стекла и вольфрамовых пленочных материалов.Пункт | Индекс | ||
CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
N2, 10-6(В/В) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6(В/В) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6(В/В) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6(В/В) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
SF6, 10-6(В/В) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10-6(В/В) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10-6(В/В) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
TFC(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(В/В) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Общее содержание примесей, ppm (в/в) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Параметр Критический анализ |
Единицы измерения | Компания Технические характеристики |
Анализ Результатов |
Метод анализа |
Тетрафторметан (CF4) | %(в/в) | 99.999% мин | >99.999% | Г. С. |
Кислород (O2) | в.промилле | <1.0 | <0.2 | Г. С. |
Азот (N2) | в.промилле | <1.0 | <0.6 | Г. С. |
Угарный газ (CO) | в.промилле | <0.5 | <0.2 | Г. С. |
Углекислый газ (CO2) | в.промилле | <0.5 | <0.2 | Г. С. |
Гексафторид серы (SF6) | в.промилле | <0.2 | <0.1 | Г. С. |
Трифторметан (CHF3) | в.промилле | <0.5 | <0.1 | Г. С. |
Другие галокарбон (OFC)* | в.промилле | <1.0 | <0.7 | Г. С. |
Общий объем углеводородов (THC)* | в.промилле | <0.5 | <0.1 | Г. С. |
Влажность(H2O) | в.промилле | <0.5 | <0.2 | Анализатор влажности |
Кислотность (как HF) | в.промилле | <0.1 | <0.08 | Анализатор кислотности |
Общее содержание примесей | в.промилле | ≤10.0 | <10.0 | Г. С. |
Partiale(>0.1μm) | pcs/л. | <10.0 | <1.0 | ICP-MS |
О нас:
Qingdao Ruiming Bluesky Energy Co., Ltd расположен в Циндао, крупнейшем морском порту Китая, владеет удобными пароходами.Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями