Номер CAS: | 75-73-0 |
---|---|
формула: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Составной: | Промышленные Pure Air |
Стандартный класс: | Промышленный Сорт |
Химическая недвижимости: | Негорючий газ |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Пункт | Предметный указатель | ||
CF4, %(V/V)> | 99,999 | 99.995 | 99,99 |
N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0,5 | 1 |
SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10-6(V/V) ≤ | 0,1 | 0.3 | 0.3 |
TFC(CH2F2,CHF3,C2F3, C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Общее содержание примеси, ppm (В/В) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Параметр Критических анализа |
Блок управления | Компания Согласно спецификации |
Анализ Результаты |
Метод анализа |
Тетрафторметан (CF4) | %(V/в) | 99,999% мин | >99,999% | G.C |
Кислорода (O2). | V.стр/мин | <1.0 | <0,2 | G.C |
Азот (N2) | V.стр/мин | <1.0 | <0,6 | G.C |
Окись углерода (CO) | V.стр/мин | <0,5 | <0,2 | G.C |
Выбросы двуокиси углерода(CO2). | V.стр/мин | <0,5 | <0,2 | G.C |
Гексафторид серы (SF6). | V.стр/мин | <0,2 | <0,1 | G.C |
Trifluoromethane(CHF3) | V.стр/мин | <0,5 | <0,1 | G.C |
Другие галоидоуглеводородов (OFC)* | V.стр/мин | <1.0 | <0,7 | G.C |
Общая сумма углеводородов (ТГК)* | V.стр/мин | <0,5 | <0,1 | G.C |
Датчик влажности (H2O) | V.стр/мин | <0,5 | <0,2 | Анализатор влажности |
Кислотность (HF) | V.стр/мин | <0,1 | <0,08 | Анализатор кислотности |
Общее содержание примесей | V.стр/мин | ≤10.0 | <10.0 | G.C |
Particale(>0.1μm) | Пк/л | <10.0 | <1.0 | ICP-MS |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями