Этчинг кремния карбида, очистка поверхности вафера, удаление остатков, РИЕ, плазменный удалитель клея

• Послепродажное обслуживание: 1 год
• Гарантия: 1 год
• Тип: Электрические травления машина
• Модель №.: 0
• Объект: пластина
• Применение: ри
• Сертификация: CE
• Офорт Тип: Двухместный Spray
• Точность: Высокоточный
• Состояние: Новый
• применимое ограничение: 4~8 дюйма
• число срезов для одной обработки: 1 и 2
• управление системой: система промышленного управления
• уровень автоматизации: автоматически
• Транспортная Упаковка: мэндер-хай-тек
• Характеристики: 1080x1840x1800 мм / 1340x2050x1800 мм
• Торговая Марка: мэндер-хай-тек
• Происхождение: Китай

Описание Товара

Описание продукта

 Средство для удаления клея плазмы ICP  

СПРАШИВАТЬ
Удаление полимера
Удаление слоя с жесткой маской без применения смазки
Удаление фоторезистивности после имплантации иона
Удаление фоторезистивного материала в процессе BAW/ПИЛЫ
Сухая очистка антибликовым слоем графической пленки
Удаление остатков поверхности
Очистка поверхности после травления
ДEШУМ

Параметры продукта

 

Источник ПЛАЗМЫ		РЧ	РЧ
мощность	ВЧД	1000 вт.	1000 вт.
	СМЕЩЕНИЕ	600 вт (дополнительно)	600 вт (дополнительно)
Применимое сфера		4~8 дюйма	4~8 дюйма
Число срезов для одной обработки		1	2
Размеры внешнего вида		1080x1840x1800 мм	1340x2050x1800 мм
Управление системой		Система промышленного управления	Система промышленного управления
Уровень автоматизации		автоматически	автоматически

Подробные фотографии

 

 

У нас есть 16-летний опыт в продаже оборудования, и мы можем предоставить Вам комплексное решение для оборудования интегральной линии!