Certification: | CE |
---|---|
Condition: | New |
Customized: | Customized |
Транспортная Упаковка: | Wooden Crate |
Характеристики: | 1300*2100*1200mm |
Торговая Марка: | minder-hightech |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Системы питания | Тип питания | Микроволновая мощность |
Мощность | 0–1250 ВТ. | |
Частота | 2,45 ГГц | |
Вакуумная система | Двухступенчатый роторно-лопастной насос (масляный насос) | 60 м3/ч (дополнительный сухой насос) |
Вакуумная линия | Все трубы из нержавеющей стали и сильнопрочные вакуумные пневмобаллоны | |
Материалов | Алюминиевый сплав (специально изготовленная полость из нержавеющей стали) | |
Толщина | 25 мм | |
Герметичность | уплотнение, сварное по классу | |
Размер внутренней камеры | 450×450×450 ММ (Ш×В×Г) | |
Рабочее пространство | 6 секций магазина | |
ЭКР | Slotted Magazine и обеспечивает улучшенную обработку ECR | |
Вращение лотка | Вращение лотка управления магнитной жидкостью | |
Газовая система | Диапазон расхода | 0–300 СМ |
Контур технологического газа | Стандартный двухходовой CF4 газ дополнительно |
|
Система управления | Управление системой | ПЛК |
Интерактивный режим | 7-дюймовый сенсорный экран | |
Другие спецификации | Размер машины | 1300×2100×1200 ММ (Ш×В×Г) |
Вес | 250 КГ | |
Цвет | Серебристо-серый |
Характеристики электропитания переменного тока | Источник питания:AC380 в,50 Гц,5-проводной,50A |
Выпуск на заводе | Расход: 2.0 м3/мин |
Требования к заводским рабочим газам | Расход:1~10 л/мин Давление: 3~7 кг/см² Диаметр трубы: 6×4 мм Материал: Полиуретановая трубка чистота: выше на 99.99% |
Требования к заводским сжатым воздухом | Расход:1~10 л/мин Давление: 3~7 кг/см² Диаметр трубы: 8×5 мм Материал: Полиуретановая трубка Точка росы:-40°C ниже 0.3μm частиц 10 шт./куб. Футов/мин |
Знаки опасности | Знак опасности высокого напряжения |
Использование среды | Температура: 15–30°C. Влажность: 30–70% |
Другие соображения | Не используйте воспламеняющийся газ, коррозионный газ, взрывоопасную или химически активную пыль Цилиндры должны быть закреплены |
Нет | Имя | Описание | Единицы измерения | Кол-во |
1 | Хост | Размер: 1300×2100×1200 мм (Ш×в×г) | Set (установить) | 1 |
2 | Вакуумная камера | Вакуумная камера Внутренний размер 450×450×450 мм (Ш×в×г) |
Set (установить) | 1 |
3 | Мощность возбуждения | Микроволновая плазма | Set (установить) | 1 |
Частота: 2,45 ГГц Мощность 0~1250 Вт. |
||||
4 | ПЛК | Siemens, Германия, S7-200 | ПК | 1 |
5 | Сенсорный экран | MCGS, семидюймовый экран | ПК | 1 |
6 | Расходомер | WAWICK | ПК | 2 |
7 | Комплект вакуумного насоса | двухступенчатый роторно-лопастной насос (масляный насос): 60 м3/ч. | Set (установить) | 1 |
8 | Вакуумметр | INFICON | ПК | 1 |
9 | Вручную | Руководство по эксплуатации вакуумного микроволнового плазменного очистителя SPMV-100H | Set (установить) | 1 |
Пункт | Содержание осмотра | Жизни | Частота проверки |
Масляный насос | Фильтрующий элемент | Время использования 2000H | 15-дневный |
Масло насоса | Время использования 2000H | 15-дневный |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями