| Послепродажное обслуживание: | 1 год |
|---|---|
| Гарантия: | 1 год |
| источник света: | желтый свет |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Сертифицированный Поставщик Проверено независимым сторонним инспекционным агентством
В данной технической спецификации MCXJ-MLS8 указаны технические характеристики, конфигурация, технические требования, методы приемки и стандарты, планы установки и обучения, основные требования к оборудованию, детали и расходные материалы, послепродажное обслуживание и т.д. продуктов, систем и услуг, предоставляемых компанией Macex, Как клиент и MACEX на месте эксплуатации оборудования для лазерной прямой визуализации MCXJ-MLS8, испытания будут проводиться совместно клиентом и представителями компании MACEX на месте заказчика, а также совместно проверять результаты испытаний.
| Нет | Окружающей среды | Требуется |
| 1 | Источник света | Желтый свет |
| 2 | Температура | 22°C ±2°C. |
| 3 | Влажность | 50%±10% |
| 4 | Чистота | 1000 |
| 5 | CDA | 0.6±0,1 МПа, 200 л/мин, сухой, чистый воздух |
| 6 | Источник питания | 220–240 в, 50 50/60 Гц, 2,5 КВТ; заземляющий провод должен быть заземлен, |
| 7 | Охлаждающая вода | Температура: 10°C~ 20°C. Давление:0,3 МПа ~ 0,5 МПа Расход: 20 л/мин Разность давлений:0,3 МПа Возьмите калибр:RC3/8 |
| 8 | Место проведения | Уровень:±3 мм/3000 мм встряхивание:VC-B подшипник:750 |
| 10 | Интернет | Один сетевой порт |
| 11 | Размер машины | 1300*1100*2100 мм |
| 12 | Вес устройства | 1500 кг |
| Нет | Проект | Спецификация | Замечание |
| 1 | Резолюции | 0,6 мкм | AZ703,AZ1350 |
| 2 | ХДС | ±10% при 1 мкм | |
| 3 | Толщина подложки | 0,2–4 мм | |
| 4 | Точность таблицы дат | 60 нм | |
| 5 | Наложение | ±500 нм | 130 мм x 130 мм |
| 6 | Точность сшивания | ±200 нм | AZ703 |
| 7 | МАКС. Размер экспозиции | 190 X 190 мм | |
| 8 | Пропускная способность | ≥300 мм2/мин | ≤50 мдж/см2; |
| 9 | источник света | LD 375 нм | |
| 10 | мощность освещения | 6 ВТ. | |
| 11 | Однородность энергии | ≥95% | |
| 12 | легкая жизнь | 10000 ч. |
