CAS No.: | 7783-82-6 |
---|---|
Formula: | Wf6 |
EINECS: | 232-029-1 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Poisonous Gases |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Проверка элементов | Единицы измерения | Требования к качеству | Результаты проверки |
CF4 | Частей на миллион | <0,5 | <0,01 |
O2 | Частей на миллион | <0,5 | <0,01 |
N2 | Частей на миллион | <1 | 0,03 |
CO | Частей на миллион | <0,5 | <0,02 |
CO2 | Частей на миллион | <0,5 | <0,01 |
SiF4 | Частей на миллион | <0,5 | <0,1 |
SF6 | Частей на миллион | <0,5 | <0,1 |
HF | Частей на миллион | <5 | 0,19 |
Al | Ppb | ≤10 | <0,020 |
В качестве | Ppb | ≤10 | <0,001 |
B | Ppb | ≤10 | <0,005 |
Ca | Ppb | ≤5 | <0,200 |
Cd | Ppb | ≤2 | <0,001 |
Cr | Ppb | ≤10 | <0,020 |
Fe | Ppb | ≤10 | <0,007 |
K | Ppb | ≤5 | <0,100 |
Mn | Ppb | ≤10 | <0,001 |
Северная Америка | Ppb | ≤5 | <0,040 |
Й | Ppb | ≤0,1 | <0,001 |
Ti | Ppb | ≤10 | <0,002 |
Li | Ppb | ≤10 | <0,002 |
U | Ppb | ≤0,05 | <0,001 |
Zn | Ppb | ≤10 | <0,005 |
Si | Ppb | ≤10 | <0,100 |
Pb | Ppb | ≤10 | <0,001 |
P | Ppb | ≤2 | <0.300 |
Мг | Ppb | ≤10 | <0,020 |
Ni | Ppb | ≤20 | <0,030 |
Cu | Ppb | ≤5 | <0,005 |
Мо | Ppb | ≤10 | <0,001 |
Общий объем загрязнения из другого металла | Ppb | ≤500 | <0,0010 |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями