Трихлоросилан — полупроводниковый предшественник для эпитаксиальных кремниевых тонкопленочных пленок, особенно для
подготовка пусков пластин.
Технические характеристики:
| Элементы теста |
Единицы измерения |
Результат проверки |
| Компонентов |
Чистота |
% |
99.990 |
| |
Другой CHLOROSILANE |
% |
0.010 |
Загрязнения |
Co. (Сос |
ppb |
0.01 |
| |
CR |
ppb |
0.01 |
| |
Куб |
ppb |
0.01 |
| |
ИП |
ppb |
0.06 |
| |
МН |
ppb |
0.01 |
| |
Нет |
ppb |
0.01 |
| |
В. |
ppb |
0.01 |
| |
Б) |
ppb |
0.01 |
| |
Ал |
ppb |
0.01 |
| |
P |
ppb |
0.01 |
| |
Как |
ppb |
0.01 |
| |
MO |
ppb |
0.01 |
| |
Полное загрязнение металла |
ppb |
<1.00 |
| P+AS |
ppb |
0.02 |
| C |
стр./мин |
<0.01 |
| Плотность газа |
/ |
4.7 |
Тип упаковки:
Информация о компании:
Suzhou XunHE Chemical Co., Ltd укомплектован обученным персоналом, совмещает многолетний опыт в газовой промышленности. Мы поставляем газ для баллонов, электронный газ и т.д., а также газовытяжки, панели, арматуру и другое оборудование, запасные части и инженерные услуги нашим клиентам в Китае и во всем мире; Продукция занимается различными промышленными областями, такими как полупроводниковые чипы, солнечные батареи, светодиодные, TFT-LCD, оптические волокна, Стекло, лазер, медицина и т.д., наша миссия заключается в том, чтобы совместно с нашими глобальными клиентами обеспечить поддержку, решения и качественные продукты, которые являются инновационными, надежными и безопасными.
Наши продукты в основном включают: H2, O2, N2, AR, CO2, Пропан, ацетилен, гелий, смешанный газ лазером, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, допинг-смешанный газ (TMB, PH3, B2H6) и другие электронные газы.
Сертифицированный Поставщик 
