Технические характеристики изделия:
Гексафторид серы используется для плазменной травления перед химическим осаждением паров (CVD). В его состав входят оксидная гравировка, гравировка нитридов и очистка пластин. Гексафторид серы также используется в процессах очистки плазменной камеры.
Технические характеристики:
Название продукта |
Гексафторид серы |
Тип |
SF6 |
Чистота |
n5.0 |
Технические характеристики цилиндра |
47L / 470L |
Заполняйте (20?C) |
50 кг / 500 кг |
Давление заполнения (20?C,-5%) |
23 бар |
Тип клапана |
DISS 716 |
Области применения |
Полупроводниковое поле используется в процессе химического осаждения паров из-за высокой устойчивости при высоких напряжениях, в качестве изолирующего средства для электрооборудования, газа обнаружения утечек,
И ауза спектрометра в лаборатории. |
Тип упаковки:
Информация о компании:
Suzhou XunHE Chemical Co., Ltd укомплектован обученным персоналом, совмещает многолетний опыт в газовой промышленности. Мы поставляем газ для баллонов, электронный газ и т.д., а также газовытяжки, панели, арматуру и другое оборудование, запасные части и инженерные услуги нашим клиентам в Китае и во всем мире; Продукция занимается различными промышленными областями, такими как полупроводниковые чипы, солнечные батареи, светодиодные, TFT-LCD, оптические волокна, Стекло, лазер, медицина и т.д., наша миссия заключается в том, чтобы совместно с нашими глобальными клиентами обеспечить поддержку, решения и качественные продукты, которые являются инновационными, надежными и безопасными.
Наши продукты в основном включают: H2, O2, N2, AR, CO2, Пропан, ацетилен, гелий, смешанный газ лазером, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, допинг-смешанный газ (TMB, PH3, B2H6) и другие электронные газы.
![High Purity 99.999% 5n Sulfur Hexafluoride Gas](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![High Purity 99.999% 5n Sulfur Hexafluoride Gas](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![High Purity 99.999% 5n Sulfur Hexafluoride Gas](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![High Purity 99.999% 5n Sulfur Hexafluoride Gas](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![High Purity 99.999% 5n Sulfur Hexafluoride Gas](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![High Purity 99.999% 5n Sulfur Hexafluoride Gas](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)