Номер CAS: | 7783-82-6 |
---|---|
формула: | wf6 |
EINECS: | 232-029-1 |
Составной: | Промышленные Pure Air |
Стандартный класс: | Электронный класс |
Химическая недвижимости: | Ядовитые газы |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Элементы теста | Единицы измерения | Требования к качеству | Результаты проверки |
CF4 | стр./мин | <0.5 | <0.01 |
O2 | стр./мин | <0.5 | <0.01 |
N2 | стр./мин | <1 | 0.03 |
CO. (СОС | стр./мин | <0.5 | <0.02 |
CO2 | стр./мин | <0.5 | <0.01 |
SiF4 | стр./мин | <0.5 | <0.1 |
SF6 | стр./мин | <0.5 | <0.1 |
HF | стр./мин | <5 | 0.19 |
Ал | ppb | ≤10 | <0.020 |
Как | ppb | ≤10 | <0.001 |
Б) | ppb | ≤10 | <0.005 |
Ок. | ppb | ≤5 | <0.200 |
CD | ppb | ≤2 | <0.001 |
CR | ppb | ≤10 | <0.020 |
ИП | ppb | ≤10 | <0.007 |
K | ppb | ≤5 | <0.100 |
МН | ppb | ≤10 | <0.001 |
Нет | ppb | ≤5 | <0.040 |
Я | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
TI | ppb | ≤10 | <0.002 |
Ли | ppb | ≤10 | <0.002 |
U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
Я | ppb | ≤10 | <0.100 |
Пбайт | ppb | ≤10 | <0.001 |
P | ppb | ≤2 | <0.300 |
Мг | ppb | ≤10 | <0.020 |
Нет | ppb | ≤20 | <0.030 |
Куб | ppb | ≤5 | <0.005 |
MO | ppb | ≤10 | <0.001 |
Полное загрязнение других металлов | ppb | ≤500 | <0.0010 |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями