Описание продукции
Дихлоросилан — предшественник кремния для эпитаксиального кремния, кремниевого Германия, нитрида кремния,
оксид кремния, карбид кремния и металлические силицидные пленки.
Подробнее
Название продукта |
Дихлоросилан |
Тип |
SiH2Cl2 |
Чистота |
n3.0 |
Технические характеристики цилиндра |
40 Л. |
Заполнение (20?C) |
37 кг |
Тип клапана |
DISS636 |
Области применения |
Полупроводник: Используется в производстве эпитаксиальных таблеток, оптического волокна важное сырье, непосредственно влияет на производительность интегральных схем, интеграции, урожайности. |
Спецификация продукции
Элементов |
Композиции |
Символы |
Значение |
Единицы измерения |
Чистота(GC) |
SiH2Cl2 |
≥ |
99.9 |
% |
Примеси газа |
O2+AR |
≤ |
1 |
стр./мин |
N2 |
≤ |
1 |
стр./мин |
CO. (СОС |
≤ |
1 |
стр./мин |
CO2 |
≤ |
1 |
стр./мин |
Примеси доноров |
P |
≤ |
0.20 |
нг/г |
Как |
≤ |
0.05 |
нг/г |
Примеси акцепторов |
Б) |
≤ |
0.20 |
нг/г |
Ал |
≤ |
0.10 |
нг/г |
Металлические загрязнения |
CR |
≤ |
0.50 |
нг/г |
ИП |
≤ |
1.00 |
нг/г |
Нет |
≤ |
0.50 |
нг/г |
Куб |
≤ |
0.50 |
нг/г |
Zn |
≤ |
0.50 |
нг/г |
Co. (Сос |
≤ |
0.20 |
нг/г |
Нет |
≤ |
0.50 |
нг/г |
Тип упаковки
Информация о компании
Suzhou XunHE Chemical Co., Ltd укомплектован обученным персоналом, совмещает многолетний опыт в газовой промышленности. Мы поставляем газ для баллонов, электронный газ и т.д., а также газовытяжки, панели, арматуру и другое оборудование, запасные части и инженерные услуги нашим клиентам в Китае и во всем мире; Продукция занимается различными промышленными областями, такими как полупроводниковые чипы, солнечные батареи, светодиодные, TFT-LCD, оптические волокна, Стекло, лазер, медицина и т.д., наша миссия заключается в том, чтобы совместно с нашими глобальными клиентами обеспечить поддержку, решения и качественные продукты, которые являются инновационными, надежными и безопасными.
Наши продукты в основном включают: H2, O2, N2, AR, CO2, Пропан, ацетилен, гелий, смешанный газ лазером, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, допинг-смешанный газ (TMB, PH3, B2H6) и другие электронные газы.