Индивидуализация: | Доступный |
---|---|
Номер CAS: | 7803-62-5 |
формула: | sih4 |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Проверено независимым сторонним инспекционным агентством
Сведения о продукте
CAS No: 7803-62-5Компонент | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | Единицы измерения |
Кислород (AR) | ≤1 | ≤0.4 | ≤0.1 | Ppmv |
Азот | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Водород | ≤50 | ≤30 | ≤20 | Ppmv |
Гелий | / | ≤10 | ≤10 | Ppmv |
CO+CO2 | ≤0.2 | ≤0.4 | ≤0.1 | Ppmv |
THC | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Хлоросиланы | ≤15 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Дисилоксан | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Дизилан | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Влажность (H2O) | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |