Ультра высокого вакуума в режиме импульсной лазерной осаждения оборудование для нанесения покрытия PLD системы
Краткое введение, Настраиваемых в режиме импульсной лазерной отличается неравномерностью осаждения:
В режиме импульсной лазерной системы осаждения, сокращенно PLD, эта система состоит из двух частей: Excimer лазерная и вакуумные покрытия камеры; Вакуумный покрытие камера состоит из отличается неравномерностью вакуумную камеру, вращающийся target этап, окисление субстрата отопление этапе рабочего газа путь, газа, установка системы столом станка измерение разрежения и электрическая система управления.
Состав оборудования Настраиваемых импульсной лазерной отличается неравномерностью осаждения:
1. Лазерный
На основе самых продаваемых LightMachinery IPEX серии промышленного класса excimer лазеры, Лазерные оптимизирована для PLD приложений; На выставке IPEX серии excimer лазеры имеют отличную производительность, долговечность и надежность и простоту интеграции производительность для удовлетворения потребностей исследователей и системным интеграторам в области импульсной лазерной осаждения (PLD).
1) Преимущества лазерной печати
(1) GasMiser-1000 опция работает с технологией значок продлить срок службы газа и сократить эксплуатационные расходы
(2) Отличное место единообразия и энергетической стабильности между импульсами, короткое замыкание ширина импульса
(3) энергии остается постоянной на всех частотах повторения
(4) автоматической EasyClean герметичность функция предотвращает заполнена и снижает время простоя технического обслуживания
(5) весьма стабильная установка оптического дисковода для превосходной точности наведения фар дальнего света
(6) Настраиваемые системы лучевой терапии с учетом конкретных потребностей приложений PLD
2) PLD стабильную производительность
Постоянной энергии импульса: На выставке IPEX-740 / 760 серии excimer лазеров объединения и GasMiser-1000 технологии имеют непревзойденную динамические и статические газа жизнь после одного газообмена. От одного до максимальной частоты повторения импульсов энергии остается постоянной на все частоты повторения. Этот метод гарантирует PLD параметры процесса не будет изменяться с изменением лазерных рабочего времени и частоты повторения.
Постоянная частота пульса стабильности: Расширенный мониторинг энергопотребления метод используется для регулировки частоты пульса энергии, которая может точно отрегулировать разгрузочный напряжение и газовой смеси и поддерживать постоянный выход энергии при любых рабочих условиях (включая режим серийной съемки). Импульсом к стабильности частоты пульса не более 1%.
Постоянно указывая стабильности: Высокой стабильности core оптика кронштейн, указав стабильности выше 200μrad, при этом не требуется повторная калибровка после ремонта оптического дисковода.
Постоянное качество пучка: Распределение интенсивности пучка на выставке IPEX-740 / 760 с лазерными принтерами серии имеют острые кромки и плоской верхней части, в особенности имеет минимальные изменения в трудовой жизни лазерная камера.
3) технические характеристики лазера
| Длина волны (нм) |
193 (РФА) |
248 (KrF) |
308(XeCl) |
| Постоянной энергии импульса(mJ) на всех остающихся на второй год |
IPEX-740 серии |
150 |
400 |
250 |
| IPEX-760 серии |
200 |
600 |
500 |
| Максимальный пульс энергии (mJ) на малой скорости повторения |
IPEX-740 серии |
230 |
450 |
300 |
| IPEX-760 серии |
250 |
700 |
600 |
| Стабилизированный среднее энергопотребление (Вт) |
IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| IPEX-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| IPEX-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| IPEX-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| IPEX-762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| Максимальная частота повторения (pps) |
IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| IPEX-762 |
12 |
15 |
10 |
Продолжительность импульса (НС)
(FWHM, номинальная) |
IPEX серии-740/760 |
12 - 20 |
Дальний свет размеры (мм)
(V № H, номинальная) |
IPEX-740 серии |
12 × 26 |
| IPEX-760 серии |
12 × 28 |
Рассеивание луча(mrad)
(V № H, номинальная) |
IPEX серии-740/760 |
1 × 3 |
2. Вакуумного покрытия камеры
1) 1 комплект отличается неравномерностью вакуумную камеру компонентов
Размер сферической вакуумную камеру - Ф450мм. Он сделан из высококачественной нержавеющей стали. Она приварена к аргон arc. Полированные поверхности с помощью специального процесса. Интерфейс герметизирован с металлической прокладкой или фтор резиновое кольцо.
2) 1 набор вращающихся целевых компонентов платформы
(1) четырех целей могут быть загружены в то время, Целевой размер: (i) Φ60 мм И (ii) Φ25 мм;
(2) каждой цели можно реализовать вращения - скорость вращения 5~60 об/мин, непрерывно регулируемый, управляемый с приводом от электродвигателя магнитная муфта механизма;
(3) в целевое положение революции внедрения механизма управляется с приводом от двигателя магнитная муфта механизма.
(4) Цель материала экрана щитки 4 целей, и только один целевой sputtered материала на пленку в то время, с тем чтобы избежать перекрестного загрязнения между объектом материалов.
3) Антиоксидантной системы отопления подложки в таблице 1,
(1) носителем размер: Φ2 " подложки можно поместить;
(2) Максимальная температура нагрева подложки 800ºC ± 1 °С, управляемый термопары замкнутый контур обратной связи и свечей изготовлен из материала антиоксидантом.
(3) субстрата может вращаться постоянно, частота вращения коленчатого вала об/мин 5~60, управляемый с приводом от электродвигателя магнитная муфта механизма;
(4) расстояние между подложку и целевой платформы регулируется в пределах от 30 до 90мм и регулируется с помощью ручной пневматический упругий элемент механизма регулировки за пределами камеры;
(5) ручного управления образец отражательный щиток компонентов: 1;
(6) держатель образца: 2;
4) Окна и интерфейс с фланцем, части 1,
5) лазерный луч сканирование системы управления 1
Двумерное сканирование механические узлы и агрегаты, два набора управление двигателем, или ручное управление;
6) Рабочий газ линии 2 канала
7) газа, блок клапана, 1,
8) 1 комплект монтажной рамы машины в сборе
Высокое качество квадратных стальных сварных профилей, быстрой разгрузки coaming поверхности spray обращения; Машины с поверхности кожи из нержавеющей стали стиле; Четыре самоустанавливающиеся колеса может быть фиксированной и подвижной
9) измерение разрежения и электрической системы управления 1
10) ЭБУ системы управления 1
Фотографии с Помощью импульсной лазерной отличается неравномерностью осаждения:
Основанная в 2005 Чжэнчжоу CY научного документа Co., Ltd. Является компания специализируется на разработке и производстве лабораторного оборудования для исследования технологий. Продукты смешиваются, нажата, сожгли, вырезать и заземления, полированными, бумага с покрытием, аналитического оборудования и связанных с ними материалов. Продукция включает в себя лаборатории спекания оборудование, оборудование для нанесения покрытия и так далее. В настоящее время он был экспортирован в 25 странах и регионах, таких как Соединенные Штаты Америки, Европы и Юго-Восточной Азии, и был хорошо принят различных научных исследований.
У нас есть молодые технологических исследований и разработок, количество технических специалистов - 33, компания имеет 150 человек, более 500 квадратных метров служебных помещений, на заводе охватывает площадь около 1500 квадратных метров расположен в Женгжоу высокотехнологичные зоны промышленного Парка с электронным управлением. Продукты, расположены главным образом в области исследования рынка и научных исследований в лабораториях университетов и колледжей, а также можно настроить в соответствии с вашими потребностями.
Вопрос: Вы являетесь производителем или торговой компании?
A. Мы профессиональные производители приборов лаборатории, имеют свои собственные проектной группы и на заводе, молодые технический опыт и может гарантировать качество продукции и оптимальные цены.
В. Как продукции вашей компании послепродажного обслуживания системы?
A. изделия гарантийный срок - 12 месяцев, мы можем предоставить техническое обслуживание на весь срок службы. Мы professional, продаж и послепродажного департаментов, которые могут ответить вам в течение 24 часов для устранения любых технических вопросов.
Вопрос: Как долго - это Ваш срок поставки? Если я хочу настроить на щитке приборов, сколько времени нужно предпринять?
А. 1. Если товары имеются в наличии, 5-10 дней. 2. Мы можем предоставить специализированные услуги для наших клиентов. Он обычно занимает 30-60 дней в зависимости от характеристик custom щиток приборов.
Вопрос нашей страны к источнику питания и разъем отличаются. Каким образом можно решить эту проблему?
A. Мы можем трансформатор питания и разъем в соответствии с местными требованиями в соответствии с вилкой питания в различных странах.
Вопрос Как оплатить?
A. T / T, L / C и D/P и т. Д., рекомендуется использовать Alibaba торговли.
Вопрос как на упаковке товаров? Методы доставки?
А. 1. Стандартные экспорт фумигации знак деревянный ящик упаковки 2. Express, воздушного, морского судоходства в соответствии с требованиями заказчика, найти наиболее подходящий способ.
Дополнительные вопросы, обратитесь в службу обслуживания клиентов
Сертифицированный Поставщик 
