Lab High-Head High Vacuum 2" Magnetron sputing coater осаждение металла пленка, сплав Nano пленка

• Тип: Линия Нанесения Покрытий
• Покрытие: Plasma Sputtering Coater
• Подложка: Ceramic and Metal
• Сертификация: CE
• Состояние: Новый
• название продукта: dc/rf, магнетрон плазмы с двумя головками, sp
• Модель №.: CY-MSP-300-DCRF
• источник постоянного тока: 500 вт.
• источник рч: 300 вт.
• Транспортная Упаковка: Wooden Case
• Характеристики: plasma sputtering system
• Торговая Марка: CYKY
• Происхождение: China
• Производственная Мощность: 500 Sets Per Month

Описание Товара

Двухголовный высоковакуумный 2-дюймовый плазменный напыльник с двумя головками DC/RF
 
CY-VTC-600-2HD — это компактная магнетронная система для разбрызгирования с двумя 2-дюймовыми целевыми  источниками, например, один источник постоянного тока для покрытия металлической пленки и другой источник РЧ для покрытия неметаллических материалов.  В комплект входит устройство отслеживания толщины пленки, которое позволяет пользователю легко управлять обработкой. Этот котел предназначен для покрытия как одного, так и нескольких слоев пленки для широкого спектра  материалов, таких как сплав, ферроэлектрический, полупроводник, керамика, Диэлектрик, оптика, ПТФЭ  и т.д.  по низкой цене.
 
Спецификация двухголовного магнетрона-плазменного котера, котерного напыления
 

Входная мощность	220 в перем. Тока, 50 Гц, одна фаза 2000 Вт (включая насос)
Источник питания	Два источника питания с разбрызгиванием встроены в один блок управления   Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытия металлических материалов   Источник РЧ: 300 Вт для покрытия неметаллических материалов
Головка для напыления магнетрона	Две 2-дюймовые шпонотки Magnetron с водяными охлаждающими рубашками включены Один из них подключен к источнику РЧ-излучения для непроводящих материалов Другой источник подключается к источнику постоянного тока для покрытия металлические материалы Требуемый размер мишени: Диаметр 2 дюйма Диапазон толщины: 0.1 - 5 мм для металлических и непроводящих целей (включая опорную пластину) Для включены один  Cu и один объединенный SiO2 демонстрационное тестирование Рекомендуемый метод покрытия Индивидуальный коater: Две головки постоянного тока без РЧ-помех; две РЧ-головки без преобразователя постоянного тока; 3 РЧ-головка по запросу Дополнительно: 148-сантиметровый РЧ-кабель заменяется на дополнительную плату
Вакуумная камера	Вакуумная камера: Диаметр 300 мм x высота 300 мм, из нержавеющей стали Окно наблюдения: Диаметр 100 мм Откидная крышка сверху с пневматическим силовым полюсом обмен данными
Держатель образца	Размер держателя образца: Диаметр 140 мм для. 4-дюймовые пластины макс Скорость вращения держателя образца регулируется: 1 - 20 об/мин для равномерного покрытия Температура держателя регулируется в диапазоне от RT до 500°C Max С точностью +/- 1.0 °C.
Управление потоком газа	Два прецизионных цифровых контроллера MFC (контроллер массового расхода) установлены для обеспечения двух типов газов заполнено Скорость потока: Макс. 200 мл/мин (0-200 SCCM) Расход регулируется с помощью 6-дюймового сенсорного экрана панель
Станция вакуумного насоса	Высокоскоростной турбо вакуумный насос (изготовлено в Германии) непосредственно устанавливается в вакуумную камеру для максимального уровня вакуума   Двухступенчатый механический насос для тяжелых условий эксплуатации, 220 л/мин (7,8 куб. Футов/мин) подсоединен к турбонасосу для более быстрой подачи В комплект входит передвижная насосная станция и компактный разбрызгиватель можно установить на верхнюю часть станции Стандартный уровень вакуума: < 4x10^-5 торр.  Макс. Уровень вакуума: 10^-6 торр с камерной выпеканием
Водоохладитель	Один  циркулирующий водяной охладитель с цифровым управлением температурой используется для охлаждения обеих головок магнетрона. Диапазон охлаждения : 5~35°C. Скорость бокового качания: 16 л/мин
Опции	Точный монитор  толщины кварцевой пленки доступен после встраивания в камеру для контроля толщины покрытия с точностью 0.10 Å.   Системы анализа тонких пленок и покрытий Pricesion с возможностью измерения доступны для измерения толщины пленки после нанесения покрытия.
Общие размеры	Крышка закрыта: Крышка открыта 48" × 28" × 32": 48" × 28" × 37"
Вес нетто	200 кг
Гарантия	Ограниченная гарантия сроком службы сроком на один год

 

Подробные фотографии

справочная фотография котера с двойной головкой магнетрона плазмы, распыляя жидкость


другие сопутствующие машины для нанесения покрытий, которые мы предлагаем:






информация о компании:
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. - основанная в  2013 году является высоким и новым технологическим предприятием, зарегистрированным в Чжэнчжоу, провинция Хэнань.  Мы поставляем лабораторные приборы для исследований материалов в таких лабораториях, как режущий станок, фрезерный станок, полировальный станок, спекательная печь, смесительная машина, перчаточный ящик, устройство для нанесения покрытий на пленку и т. д.


контактная информация: