Компактная система подачи с подвижной трубкой

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• Тип: Pecvd Tube Furnace
• сертификация: CE, ISO
• Состав: Горизонтальный тип
• марка: Cyky
• Модель №.: CY-O1200-50IC-
• макс. температура: 1200c
• рабочая температура: 1100c
• Транспортная Упаковка: Wooden Case
• Характеристики: 1200C
• Торговая Марка: CYKY
• Происхождение: China
• Код ТН ВЭД: 85141090
• Производственная Мощность: 500 Sets Per Year

Описание Товара

Компактная поплавковая печь PECVD с трубкой RTP
 

Описание продукта

В процессе осаждения химических паров используется технология плазменного улучшенного химического осаждения паров, которая может использовать высокоэнергетическую плазму для содействия процессу реакции, эффективного увеличения скорости реакции и снижения температуры реакции.

Он подходит для размещения тонких пленок нитрида кремния, аморфного кремния и микрокристаллического кремния на различных подложках, таких как оптическое стекло, кремний, кварц и нержавеющая сталь. Он имеет хорошее качество пленочного формования, меньше отверстий и не легко трескается. Подходит для приготовления аморфных кремниевых и микрокристаллических кремниевых тонкопленочных солнечных батарей. Он может широко использоваться в научных исследованиях и мелкосерийной подготовке тонкопленочных материалов в колледжах и университетах и научно-исследовательских институтах.

 

Параметры продукта

 

Источник питания РЧ	Частота сигнала	13,56 МГц
	Диапазон выходной мощности	0–500 ВТ.
	Максимальная отраженная мощность	100 ВТ.
	Отраженная мощность (при максимальной мощности)	<5 ВТ.
	Стабильность мощности	±0.1%
Рабочей палаты	Температура нагрева	RT-1000°C.
	Точность регулирования температуры	±1°C.
	Держатель образца	Φ200mm
	Скорость вращения держателя образцов	1 об/мин с регулировкой
	Размер распылительной головки	Φ90mm
	Расстояние	Расстояние между головкой опрыскивателя и образцом составляет 40 мм, с бесступенчатым регулированием
	Рабочий вакуум для осаждения	0. 133–133 Па (регулируется в соответствии с техническим процессом)
	Фланец	Верхний фланец может быть поднят двигателем, носитель легко заменить, а также имеется визуальное окно
	Камеры	Материал из нержавеющей стали, Φ500mm * 500 мм
	Окно наблюдения	Φ100mm, с перегородкой
Подача газа системы	Номера каналов	6
	Измерительное устройство	Контроллер массового расхода
	Диапазон измерения	Канал A: 0~200SCCM для H2	Примечание: Если требуются другие диапазоны, укажите при заказе.  В соответствии с конкретными требованиями заказчика расходомер соответствующего типа и диапазона газов является дополнительным оборудованием.
		Канал B: 0~200SCCM для CH4
		Канал C: 0~200SCCM для C2H4
		Канал C: 0–500 SCCM для N2
		D канал: 0~500SCCM для NH3
		E-канал: 0~500SCCM для AR
	Точность измерения	±1.5% ОТ F.S
	Разница рабочего давления	-0,15 МПа~0,15 МПа
	Соединительный трубопровод	304 нержавеющая сталь
	Канал подачи газа	304 игольчатый клапан из нержавеющей стали
	Спецификация интерфейса	1/4" обжимной соединитель для входа и выхода газа
Вакуумная система	Насос подачи топлива	4,7 л/с.
	Молекулярный насос	1200 л/с.
	Измерение вакуума	Составной вакуумный манометр, диапазон 10^–5PA ~ 105 Па
	Степень вакуума	5.0*10^-3PA
Водоохладитель	Температура охлаждающей воды	<=37°C.
	Расход воды	10 л/мин
	Мощность	0,1 КВТ
	Мощность охлаждения	50 ВТ/°C.
Источник питания		220 в , 50 Гц

Продукт показан: