Спецификация SMIF LPT 2200 экспортирована за пределы страны

 Размер пластины:  

200 мм

  Положение захвата кассеты:  

909 мм (35.8 ")

 Позиционирование кассеты:  

До ± 0.005 дюйма (по вертикали)

Высота нагрузки SMIF-Pod :

900мм (35.5 дюйма) номинально

 Максимальный вылет   стрелы: (Измеряется от передней поверхности  LPT TOH-Bar SMIF -Pod)

307 мм (12.10 дюйма) перевернутое  положение кассеты

Высота:  

1578 мм (62.13 ")

Ширина:  

457 мм (18.00 ")

Глубина:  

478 мм (18.81 ")

Вес: (Без SMIF-Pod, кассеты, пластины)

170 фунтов (77,27 кг)

Скорость  движения (в мини-окружении):  

57,2 мм (2.25 дюйма) в секунду

Монтаж:  

 Крепление инструмента.  Может использовать     интерфейсную раму , откалиброванную для фиксации  LPT в  повторяемой позиции  на   инструменте Process Tool.

Мощность:  

3.5 а (100 в перем. тока) 2 а (230 в перем. тока)

LaserNOTE:LPT —     это лазерное устройство класса I при использовании  С  помощью SMIF-Pod

Диод лазер; длина волны = 670 нммощность лазера  = <1 мВт (класс II)

Связь:  

Последовательный RS-232C (SECS I / SECS II), RS-485 (дополнительно), двунаправленная параллельная ЛВС