Диффузия окисления с азотом и водородным отжигом/спеканием/легированием/заманчиванием

• After-sales Service: Provide
• Condition: New
• Certification: ISO
• Warranty: 12 Months
• Automatic Grade: Automatic
• Installation: Vertical
• Driven Type: Electric
• название продукта: Fully Automatic Oxidation Diffusion Lpcvd Furnace
• приложение: IC Integrated Circuits
• функция 1: полностью автоматический
• функция 2: модульная конструкция
• Транспортная Упаковка: Customized or Wooden Box Packaging
• Характеристики: Standard Specifications
• Торговая Марка: Himalaya
• Происхождение: China

Описание Товара

Описание продукта

Производительность продукта:
Полностью автоматический: Кассета в кассету
Модульная конструкция, ПОЛУСТАНДАРТНАЯ
Соответствует процессу производства 4-8/12-дюймовых пластин
1-4/5 трубки на блок, кварцевые/SiC реакционные трубки
Зона постоянной температуры: 800/1000/12500
Температура: 200-1300°C/1350°C.
Полностью автоматическая роботизированная загрузка и разгрузка манипулятора, консольная/мягкая посадка
Высокая степень интеграции, полная интеграция с системой MES на заводе

Технология поддержки:
Диффузионная печь: Диффузия бора фосфора в газообразном/жидком/твердом источнике
Печь окисления: Сухой кислород/влажный кислород (DCE, HCL)
Отжиг азота и водорода, спекание, легирование, отверждение и т.д.
Галлий и диффузия алюминия, LP POCl3
Процесс LPCVD: Поликристаллический кремний P-Si, нитрид кремния Si3N4, оксид кремния SiO2, фосфорное кремниевый стекло PSG, борон фосфорный кремний стекло BPSG, TEOS, LTO, HTO, SIPOS
Процесс PECVD: Нитрид кремния, оксид кремния и т.д.

 

 

Выставка и клиенты

Цзянсу Гималайя полупроводник ко., Лтд. Была основана в 2019 году, в основном занималась международной торговлей и интеграцией оборудования полупроводниковой промышленности. В настоящее время оборудование импортируется и экспортируется в более чем 30 стран, с более чем 200 клиентами и поставщиками, с целью контроля за закупкой наиболее экономичных продуктов на завершающем этапе для клиентов, и стремиться к единовременному взыскению платежей и предотвращению рисков для поставщиков!
Наши основные продукты: Клееная плитка, связывание проволоки, лазерная маркировка (ID IC Wafer), Лазерная обработка канавок, Лазерная резка (стекло Керамические пластины Упаковка, Лазерная машина внутренней модификации Si /SIC Wafe, Лазерная машина внутренней модификации Lt/LN Wafer, Лазерная установка для Si/SIC, Автоматическая машина для обледенения (Упаковка Wafer)), Автоматическое оборудование для дозирования силикона.

Упаковка и доставка

 

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ

В1: Как выбрать подходящую машину?
О1:Вы можете сообщить нам материал, размер и запрос функции машины. Мы можем рекомендовать наиболее подходящую машину в соответствии с нашим опытом.  

В2: Каков гарантийный срок на оборудование?
A2:Гарантия сроком на один год и 24 часов онлайн-профессиональной технической поддержки.

В3: Как выбрать подходящий компьютер?
О3:Вы можете сообщить нам о запросе на работу машины. Мы можем рекомендовать наиболее подходящую машину в соответствии с нашим опытом.