Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Режим Размер |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1250 |
900*1000mm | 1100*1000mm | 1250*1100mm | |
Режим покрытия и главное confirguration |
6 целей multi-дуги + один комплект колонки пристреливают + один комплект плоских целей sputtering магнетрона прямоугольника | 6 целей multi-дуги + пара твиновских целей sputtering магнетрона (MF) |
12 целей multi-дуги + 2 комплекта плоского магнетрона прямоугольника sputtering targets+ пары твиновских целей sputtering магнетрона (MF) |
Источник питания | Сила электрической дуги, сила магнетрона DC, сила магнетрона MF, сила нити, сила ИМПа ульс, линейный ионизированный источник | ||
Отростчатое управление газа | Счетчик- расходомер качества + клапан электромагнитизма керамический | ||
Структура камеры вакуума | Вертикально определите (бортовую) дверь, postposition насосной системы, двойное водяное охлаждение | ||
Вакуумируйте систему | Насос насоса +Mechanical насоса +Roots молекулы (PA 5.0*10 -5) Насос насоса +Mechanical насоса диффузии +Roots (PA 5.0*10 -4) |
||
Температура выпечки Workpiece | Нормальная температура к управлению PID 350 centi-градусов, топлению радиации |
||
Режим движения Workpiece | Общественная настройка по частоте вращения: 0-20 вращение в минуту | ||
Режим измерения | Датчик вакуума индикации номера составной: от атмосферы к PA 1.0*10 -5 | ||
Режим управления | Руководство/выбор Automatic/PC/PLC + HMI/PC 4 режима управления | ||
Примечание | Мы можем конструировать размер оборудования согласно требованию к метода клиента специальному |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями