Основная Информация.
Место Стиль
Горизонтальный
Диапазон применения
Промышленное
Использование
for Industrial Application
Происхождение
Zhengzhou, China
Описание Товара
PE-CVD (плазменные Enhanced химического осаждения из) трубы печи, которая состоит из 500 W RF источник плазмы, 2" или 3.14" O.D дополнительно разделить трубы печи, 4 канала precision массового расхода воздуха с заслонки смешения воздушных потоков газа бака и механический насос высокого качества.
В ре-CVD печи является идеальным и доступный инструмент для сдачи на хранение тонких пленок или развивать nanowire газа (пар) в твердом состоянии, и преимущества:
Более низкая температура обработки по сравнению с обычными КП.
Пленка стресса можно управлять с помощью высоких и низких частот. заслонки смешения воздушных потоков
Контроль над stoichiometry через условий процесса.
Предлагает широкий ассортимент материалов, в том числе SiOx, SiOxNy SiNx, и на основе аморфного кремния (a-Si:H) .
1200oC максимальная рабочая температура для < 60 минут
1100oC Max для непрерывной системы отопления
30 сегментов программируемых точный цифровой контроллер температуры
440 мм длина одной зоны нагрева и 150 мм длина постоянной в зоне умеренного климата
Высокая степень чистоты кварцевой трубки дополнительно из ( щелкните Дополнительно бар на выбор )
2"Mod x 1,7"ID x 48" длины
3.14"Mod x 2.83"ID x 48'' длина
Одна пара вакуумный герметичный фланец с клапанами
Входная мощность: 208 - 240 В перем. тока, одна фаза на макс. 4 квт
Плазмы ВЧ мощность питания
Выходная мощность: 5 -500W регулируется с точностью ± 1 % стабильности
Рч частотой: 13,56 Мгц ± 0,005% стабильности
Отражением мощность: 200 Вт макс.
Автоматического совмещения:
Рч-порт вывода: 50 Ω, N-типа,
Уровень шума: <50 дб.
Система охлаждения двигателя: охлаждения воздуха.
Мощность: 208-240В переменного тока, 50/60 Гц
Примечание: Эта ВЧ мощность питания может принять 50 - 80 мм макс. кварцевой трубки с помощью изменения фланец
Манометр
3.8X10-5 для 1125 Торр диапазон измерений
Антикоррозионной, независимо от типа газа
Высокая точность и воспроизводимость в атмосферу для надежного обнаружения атмосферного давления
Быстрое обнаружение атмосферы исключает время ожидания и сокращает процесс жизненного цикла
Простота обмена plug & play элемента датчика
4 precision контроллер массового расхода ( MFC) с цифровым дисплеем и регулировочную ручку устанавливаются в левой нижней части корпуса для регулирования расхода газа:
4 газовых каналов
O MFC 1: диапазон регулировки от 0~100 SCCM
O MFC 2: диапазон регулировки от 0~200 SCCM
O MFC 3: диапазон регулировки от 0~200 SCCM
O MFC 4: диапазон регулировки от 0~500 SCCM
Поступающее погрешность: ±1 % FS
Газа на входе и выходе: 1/4" Swagelok разъем трубки
Один 80мл заслонки смешения воздушных потоков газа бак установлен в нижней части корпуса
Каждый канал имеет газа игольчатый клапан из нержавеющей стали для простого вкл./выкл.
Расход регулируется с панели MFC
Адрес:
No.12 Shangwu Waihuan Road,Zhengdong New District,Zhengzhou,Henan,China
Тип Бизнеса:
Производитель/Завод, Торговая Компания
Диапазон Бизнеса:
Инструменты и Приборы, Металлургия, Минерал и Энергия, Производительный и Обрабатывающий Механизм, Промышленное Оборудование и Компоненты, Служба, Химическая Промышленность, Электричество и Электроника
Сертификация Системы Менеджмента:
ISO 14000
Введение Компании:
Корпорация Henan Synthe разрабатывает, совершенствует и отделку печей и огнеупорных изделий на протяжении почти 10 лет.
Сегодня мы предлагаем полную линейку огнеупоров для использования при различных температурах. Наша продукция включает в себя керамику вакуумной формы, керамическую волокнистую доску, керамическое фибное одеяло, модуль и другие керамические изделия.
Мы также занимаемся производством высокотемпературных муфель-печей, трубных печей, вакуумных печей и запасных частей для различных лабораторных и производственных применений. Наши печи могут обеспечивать атмосферный и вакуумный контроль, а печи специализируются на высокотемпературной функции, начиная от небольших лабораторных печей и заканчивая крупными производственными печами.
Мы также предлагаем запасные части, такие как нагревательные элементы SiC и MoSi2, караси Alumina, изделия из керамического волокна.
Многие из наших продуктов разработаны для конкретных целей с уникальным дизайном. Мы предлагаем обширные исследования и разработки. Наши высококвалифицированные инженеры, ученые, технические специалисты и персонал завода будут работать с вами, чтобы создать экономически эффективный и превосходный продукт, который удовлетворит ваши потребности.
Synthe гордится своим стремлением к совершенству работы. У нас есть драйв, знания и способность удовлетворять конкретные и требовательные потребности наших клиентов для их повседневного использования. Мы будем работать с вами, чтобы сделать все!
Наши сильные стороны
10 лет опыта производства
превосходное качество продукции
превосходные возможности для индивидуальной настройки с помощью уникальных конструкций
высокое качество работы
высококвалифицированный персонал с безупречным обслуживанием
передовые технологические инновации
Клиенты из более чем 30 стран мира