| Индивидуализация: | Доступный |
|---|---|
| Послепродажное обслуживание: | бесплатная установка и обучение, техническая поддержка |
| Гарантия: | один год |
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Проверено независимым сторонним инспекционным агентством




Режим
|
ГХЦА-2230
|
ГХЦА-2235
|
ГХЦА-2245
|
ГХЦА-2345
|
ГХЦА-2545
|
Размер
|
2200×В3000 мм
|
2200×В3500 мм
|
2200×В4500 мм
|
2300×В4500 мм
|
2500×В4500 мм
|
Structure
|
Вертикальная передняя дверная конструкция оборудована системой удаления воздуха и системы водяного охлаждения
| ||||
Вакуумная система
|
Механический насос+насос Roots+насос диффузии/молекулярный насос Turbo+удерживающий насос
| ||||
Вакуумная система измерения
|
Пирани + холодный катод + пленочный калибр
| ||||
Система покрытия
|
Источник испарения дуги, покрытие дополнительного источника питания
| ||||
Системы накачки
|
Массовый расходомер
| ||||
Источник питания
|
Источник питания постоянного тока, источник питания промежуточной частоты, источник питания импульсов (источник питания с диагональным корением, источник питания с дуговым разрядом)
| ||||
Сигнализация и защита
|
Сигнализация при нехватке воды, избыточном токе, перенапряжение, обрыве цепи и других нештатных состояниях насоса и мишени, а также реализация соответствующих мер защиты и функции электрической блокировки
| ||||
Рабочая температура выпекания
|
Нормальная температура 450 ℃ мкс регулируется и регулируется (ПИД-регулирование температуры)
| ||||
Индекс поставок
|
Давление 0.5-0,8 МПа, температура воды ≤25℃, гидравлическое давление ≥0,2 МПа
| ||||
Непревзойденный вакуум
|
5,0x10–4 Па
|
5,0x10–4 Па
|
5,0x10–4 Па
|
5,0x10–4 Па
|
5,0x10–4 Па
|
Полная мощность
|
185 КВТ
|
185 КВТ
|
185 КВТ
|
185 КВТ
|
185 КВТ
|
Remarks
|
Его можно настроить в соответствии с требованиями заказчика.
| ||||


















